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隨著科研及工業領域科技的不斷提升，對于靈活運動且高精密的定位系統需求越來越多。芯明天研發生產壓電納米定位臺可產生1~6軸運動，可直線，可偏轉，且速度快、精度高，可廣泛用于半導體、光學、醫療、航空航天、生物科技等微納操作領域。

H60.XYZTR5六自由度并聯機構

H60.XYZTR5系列六自由度并聯機構壓電納米定位臺，是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷作為驅動源，通過六支壓電促動器的協調伸縮，配合先進的控制算法，實現空間內1~6維的精密直線及角度運動，臺體結構緊湊。由于采用了并聯運動設計，它可以執行復雜的多軸運動軌跡，閉環版本配置高精度傳感器對位置進行實時監測反饋，實現納米級的精密定位控制，具有高剛度、高可靠性和重復性。此版本為真空版本，可進行真空環境適配。產品外觀如下圖所示。

產品特點

六自由度運動

大承載

閉環定位精度高

誤差無積累

產品應用

半導體設備

光學

晶圓檢測微加工

醫療

航空航天

技術參數

型號	H60.XYZTR5S/K
運動自由度	X、Y、Z、θx、θy、θz
驅動控制	6路驅動，6路傳感
X、Y軸標稱行程范圍（0~120V）	±40μm
Z軸標稱行程范圍（0~120V）	±27.5μm
θx、θy軸偏擺角度范圍（0~120V）	±0.6mrad
θz軸旋轉角度范圍（0~120V）	±0.8mrad
θx、θy、θz軸偏擺分辨率	優于0.5μrad
X、Y、Z軸位移分辨率	優于0.5nm
閉環線性度	優于0.1%F.S.
閉環重復定位精度	優于0.1%F.S.
結構形式	六自由度并聯式
驅動方式	壓電陶瓷促動器驅動
承載能力	5kg
重量	1300g

配套控制器

E70.D6S壓電控制器非常適用于驅動H60.XYZTR5六自由度壓電運動平臺。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器。E70.D6S為2個模塊化E70系列壓電陶瓷控制器級聯形成，單個E70模塊通道數為3通道，最多可級聯32個模塊，達96通道。控制器采用DC24V供電，可通過外部模擬信號或RS-422接口數字通信進行控制、開/閉環可選、集成式PZT&sensor接口便于連接，外部可設定控制功能，操作簡單便捷。