H60.XYZTR5六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)

隨著科研及工業(yè)領(lǐng)域科技的不斷提升，對于靈活運(yùn)動且高精密的定位系統(tǒng)需求越來越多。芯明天研發(fā)生產(chǎn)壓電納米定位臺可產(chǎn)生1~6軸運(yùn)動，可直線，可偏轉(zhuǎn)，且速度快、精度高，可廣泛用于半導(dǎo)體、光學(xué)、醫(yī)療、航空航天、生物科技等微納操作領(lǐng)域。

H60.XYZTR5系列六自由度并聯(lián)機(jī)構(gòu)壓電納米定位臺，是X、Y、Z、θx、θy、θz六軸運(yùn)動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源，通過六支壓電促動器的協(xié)調(diào)伸縮，配合先進(jìn)的控制算法，實(shí)現(xiàn)空間內(nèi)1~6維的精密直線及角度運(yùn)動，臺體結(jié)構(gòu)緊湊。由于采用了并聯(lián)運(yùn)動設(shè)計(jì)，它可以執(zhí)行復(fù)雜的多軸運(yùn)動軌跡，閉環(huán)版本配置高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時監(jiān)測反饋，實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制，具有高剛度、高可靠性和重復(fù)性。此版本為真空版本，可進(jìn)行真空環(huán)境適配。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

六自由度運(yùn)動

大承載

閉環(huán)定位精度高

誤差無積累

產(chǎn)品應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備

光學(xué)

晶圓檢測微加工

醫(yī)療

航空航天

技術(shù)參數(shù)

型號	H60.XYZTR5S/K
運(yùn)動自由度	X、Y、Z、θx、θy、θz
驅(qū)動控制	6路驅(qū)動，6路傳感
X、Y軸標(biāo)稱行程范圍（0~120V）	±40μm
Z軸標(biāo)稱行程范圍（0~120V）	±27.5μm
θx、θy軸偏擺角度范圍（0~120V）	±0.6mrad
θz軸旋轉(zhuǎn)角度范圍（0~120V）	±0.8mrad
θx、θy、θz軸偏擺分辨率	優(yōu)于0.5μrad
X、Y、Z軸位移分辨率	優(yōu)于0.5nm
閉環(huán)線性度	優(yōu)于0.1%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度	優(yōu)于0.1%F.S.
結(jié)構(gòu)形式	六自由度并聯(lián)式
驅(qū)動方式	壓電陶瓷促動器驅(qū)動
承載能力	5kg
重量	1300g

配套控制器

E70.D6S壓電控制器非常適用于驅(qū)動H60.XYZTR5六自由度壓電運(yùn)動平臺。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的壓電陶瓷控制器。E70.D6S為2個模塊化E70系列壓電陶瓷控制器級聯(lián)形成，單個E70模塊通道數(shù)為3通道，最多可級聯(lián)32個模塊，達(dá)96通道。控制器采用DC24V供電，可通過外部模擬信號或RS-422接口數(shù)字通信進(jìn)行控制、開/閉環(huán)可選、集成式PZT&sensor接口便于連接，外部可設(shè)定控制功能，操作簡單便捷。

審核編輯黃宇

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