Advantage六大優(yōu)勢(shì)
01大視場(chǎng)數(shù) F.N.38mm設(shè)計(jì)
02中心到邊緣 全場(chǎng)一致性好
定制分辨率板成像
晶圓成像
03優(yōu)異的色差校正
04各波長(zhǎng)光時(shí)(R,G,B,W)的MTF一致性好
05預(yù)留內(nèi)置的自動(dòng)對(duì)焦插口
06搭配光纖可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的均勻性明暗場(chǎng)照明
Specification產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù) | 值 |
---|---|
倍率 | ×10 |
FOV | φ3.8mm |
靶面 | 38mm *SOD-200-40M58鏡筒自身達(dá)40mm |
波長(zhǎng) | 430-700nm |
NA | 0.3 |
有效焦距(EFL) | 20mm |
齊焦距 | 120mm |
WD | 11.5mm |
相對(duì)照度 | 98.0 |
最大重量 | 806g |
鏡筒螺紋尺寸 | W26(φ26,P0.706mm) |
-
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wafer晶圓厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數(shù)據(jù)測(cè)量的設(shè)備
晶圓隱裂檢測(cè)提高半導(dǎo)體行業(yè)效率


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提供半導(dǎo)體工藝可靠性測(cè)試-WLR晶圓可靠性測(cè)試
半導(dǎo)體晶圓制造工藝流程

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