為期三天的全球半導(dǎo)體行業(yè)盛會SEMICON China 2025于今日圓滿落幕，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱：中微公司）精彩亮相展會及同期活動，與全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的領(lǐng)軍企業(yè)共襄盛會。

創(chuàng)新成果備受矚目

展會期間，中微公司宣布了在等離子體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)的重大突破—— ICP雙反應(yīng)臺刻蝕機(jī)Primo Twin-Star 反應(yīng)臺之間的刻蝕精度已達(dá)到0.2A（亞埃級）。該精度約等于硅原子直徑2.5埃的十分之一，是人類頭發(fā)絲平均直徑100微米的500萬分之一。此外，中微公司還發(fā)布了首款晶圓邊緣刻蝕設(shè)備Primo Halona，該產(chǎn)品的發(fā)布標(biāo)志著中微公司向著刻蝕關(guān)鍵工藝全面覆蓋的目標(biāo)再進(jìn)一步。

中微公司展臺匯聚了超高人氣，憑借強(qiáng)大的技術(shù)實(shí)力和創(chuàng)新成果，再次成為備受矚目的焦點(diǎn)，吸引了眾多行業(yè)專家、合作伙伴以及業(yè)內(nèi)外觀眾前來參觀。觀眾通過融合海報(bào)、設(shè)備模型、視頻動畫與現(xiàn)場交流等多種形式，全方了解了公司在刻蝕、薄膜、MOCVD設(shè)備等微觀加工高端設(shè)備領(lǐng)域的卓越技術(shù)和雄厚研發(fā)實(shí)力。

“可持續(xù)發(fā)展卓越貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”榮譽(yù)加冕

作為行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，中微公司在為客戶和市場提供高科技產(chǎn)品和服務(wù)的同時(shí)，積極擁抱ESG理念，深化ESG實(shí)踐，切實(shí)履行企業(yè)社會責(zé)任，完善公司治理機(jī)制，不斷推動企業(yè)可持續(xù)發(fā)展。

在3月26日晚舉辦的2025 SEMICON China VIP Gala 晚宴上，中微公司憑借在ESG實(shí)踐領(lǐng)域的優(yōu)異成績，榮獲主辦方頒發(fā)的可持續(xù)發(fā)展卓越貢獻(xiàn)獎(jiǎng)，中微公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士受邀上臺領(lǐng)獎(jiǎng)。

技術(shù)論壇深度探討

展會同期，中微公司舉辦了技術(shù)論壇，與眾多行業(yè)精英、技術(shù)專家齊聚一堂，共同探討半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的最新技術(shù)趨勢、市場動態(tài)以及未來發(fā)展方向。

中微公司的技術(shù)專家們在論壇上帶來了精彩的分享，深入解讀了公司在刻蝕、薄膜、MOCVD設(shè)備以及新產(chǎn)品等方面的創(chuàng)新成果。他們不僅展示了中微公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，還與論壇嘉賓進(jìn)行了深入的交流與互動，共同探討了如何通過技術(shù)創(chuàng)新共同推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

共話ESG理念及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)

3月28日，中微公司副總裁、QEHS負(fù)責(zé)人沈曉敏先生代表公司出席了第三屆“SEMI SCC可持續(xù)發(fā)展與ESG高峰論壇”并發(fā)表主旨演講，分享了中微公司ESG理念及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。他表示，中微公司堅(jiān)持綠色發(fā)展，承諾將于2035年實(shí)現(xiàn)自身運(yùn)營碳中和，從產(chǎn)品創(chuàng)新、環(huán)境保護(hù)、社會責(zé)任和公司治理等四個(gè)方面不斷深化ESG實(shí)踐。目前公司在上海、南昌等生產(chǎn)研發(fā)基地均實(shí)現(xiàn)了綠電供應(yīng)，2024年綠電消費(fèi)比例約為24%，切實(shí)推動了公司的低碳運(yùn)營實(shí)踐。他強(qiáng)調(diào)，中微公司將攜手產(chǎn)業(yè)鏈各方持續(xù)探索綠色解決方案，協(xié)同創(chuàng)新，為社會創(chuàng)造可持續(xù)價(jià)值，踐行“讓人們的生活因我們的努力奉獻(xiàn)而更美好”的愿景。

未來，中微公司將緊跟先進(jìn)制程發(fā)展的最前沿，堅(jiān)持三維立體發(fā)展戰(zhàn)略，通過有機(jī)成長和外延擴(kuò)展，踐行科創(chuàng)企業(yè)的“五個(gè)十大”，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的高質(zhì)量發(fā)展，盡早在規(guī)模和競爭力上成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司！

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類，包括十幾種細(xì)分刻蝕設(shè)備已可以覆蓋大多數(shù)刻蝕的應(yīng)用。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)和國際一線客戶，從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用。中微公司最近十年著重開發(fā)多種導(dǎo)體和半導(dǎo)體化學(xué)薄膜設(shè)備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設(shè)備，并取得了可喜的進(jìn)步。中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備早已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。此外，中微公司也在布局光學(xué)和電子束量檢測設(shè)備，并開發(fā)多種泛半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備。這些設(shè)備都是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。在美國TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半導(dǎo)體設(shè)備客戶滿意度調(diào)查中，中微公司三次獲得總評分第三，薄膜設(shè)備三次被評為第一。