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長江存儲4.6億訂購光刻機到貨 實現14nm 3D閃存技術突破

肖青梅 ? 來源:未知 ? 作者:xiaoqingmei ? 2018-05-21 09:34 ? 次閱讀

【導讀】:前不久,中芯國際花重金訂購了ASML的光刻機,將于2019年到貨。這邊,長江存儲4.6億訂購光刻機昨日到貨,運抵武漢,我國兩家芯片公司先后訂購光刻機,彰顯了核心技術領域努力追趕的決心。

長江存儲的這臺光刻機來自荷蘭ASML,這個用于世界上最先進工藝的光刻機公司在高端光刻機領域占據了全球90%的市場份額,,長江存儲購買的這臺光刻機,采用193nm沉浸式設計,可生產20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓,售價達7200萬美元,約合人民幣4.6億元。

目前,該機已經運抵武漢天河機場,相關入境手續辦理完畢后,即可運至長江存儲的工廠。

后續,長江存儲還會引入更多光刻機。

2016年底,世界級的國家存儲器基地項目(一期)一號生產和動力廠房在武漢正式開工建設,2017年9月底提前封頂,2018年4月5日首批價值400萬美元的精密儀器進場安裝。

目前,長江存儲擁有完全自主知識產權的32層堆疊3D NAND閃存已經開始試產,不少產業鏈企業都拿到了樣片測試,預計今年第四季度量產。

同時,長江存儲還在推進64層堆疊3D閃存,力爭2019年底實現規模量產,與世界領先水平差距縮短到2年之內。

無獨有偶,上周中芯國際也向阿斯麥下單了一臺價值高達1.2億美元的EUV(極紫外線)光刻機。這臺機器預計將于2019年初交貨。

從飛利浦獨立出來的阿斯麥公司在高端光刻機領域占據了全球90%的市場份額。光刻機(又稱曝光機)是生產大規模集成電路的核心設備,對芯片工藝有著決定性的影響。

中芯國際訂購光刻機

如今,中國兩家企業先后訂購了兩臺高端光刻機,總價值約12.3億元人民幣。據日經亞洲評論報道,阿斯麥公司有關人士否認有媒體關于“高端光刻機對中國大陸禁運”的傳聞,強調對中國大陸客戶一視同仁。

此外,阿斯麥公司接受中芯國際訂單的時間點是在今年4月中興通訊遭遇美國制裁之后。

2000年成立的中芯國際(SMIC)總部位于上海。在港股上市的中芯國際據稱是中國大陸規模最大、技術最先進的集成電路芯片制造企業之一。

據日經亞洲評論報道,盡管中芯國際在這一市場仍落后于市場領先者兩至三代技術,但是購買到目前世界最先進的EUV光刻機,彰顯了其努力追趕的決心。

每經小編(微信號:nbdnews)了解到,EUV是目前世界上最昂貴也是最先進的芯片生產工具。小于5納米的芯片晶圓,目前只能用EUV光刻機生產。三星電子和臺積電目前正競爭生產7納米工藝技術芯片,這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。

中芯國際這次引進的EUV光刻機預計將于2019年初交付。而在2017年3月,中芯國際宣布將進軍7納米工藝技術的研發。

有芯片行業高管表示,“購買這樣的機器雖然不能保證100%成功,但這至少顯示了中芯國際自主研發的決心和動力。”

光學研究機構人士表示,“這臺光刻機一旦安裝完成,將會極大縮短工藝時長,并且讓廠商有能力嘗試生產更復雜的高精度芯片。”

中芯國際2017年凈利潤為1.264億美元,幾乎全部用于這臺光刻機的訂購了。2018年一季度,中芯國際凈利潤為2937萬美元。

中芯國際聯合首席執行官趙海軍在5月10日的財報電話會議上稱,該公司將2018年芯片生產的全年資本支出從19億美元上調至23億美元。

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