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寬能隙元件是晶圓廠中最顯眼的一個(gè)方向

MZjJ_DIGITIMES ? 來(lái)源:未知 ? 作者:姚遠(yuǎn)香 ? 2018-10-05 08:54 ? 次閱讀

在后摩爾定律時(shí)代,各式各樣的增加價(jià)值方式都被拿出來(lái)討論。其中有一塊是對(duì)于已經(jīng)投入生產(chǎn)的龐大設(shè)備資產(chǎn)活化。方法包括自動(dòng)化-以前150mm和200mm的設(shè)備自動(dòng)化遠(yuǎn)遜于300mm的,再加上人工智能的增值,舊廠舊設(shè)備也能大幅提升生產(chǎn)力,創(chuàng)造新價(jià)值。

另一個(gè)方向是在這些已然故舊的制程、設(shè)備上創(chuàng)造新元件。在300mm的設(shè)備、非最先進(jìn)制程上,談的最多的是硅光子、MRAM和量子計(jì)算機(jī)。而在150mm/200mm上,已經(jīng)開(kāi)始上線的就是寬能隙(wide band gap)元件了。

物質(zhì)的導(dǎo)電性質(zhì)是由物質(zhì)的能帶(energy band)決定的。當(dāng)價(jià)帶(valence band)與導(dǎo)電帶(conduction band)接觸-帶隙值為0,電子可以在各能帶間自由移動(dòng),這就是導(dǎo)體。當(dāng)價(jià)帶與導(dǎo)電帶分離很遠(yuǎn)-或者帶隙值很大,電子困于價(jià)帶無(wú)法自由移動(dòng),這就是絕緣體。帶隙值在兩者之間,導(dǎo)電或絕緣可以由外頭施加電壓來(lái)操控,這就是半導(dǎo)體。

過(guò)去半導(dǎo)體選用硅當(dāng)材料是因?yàn)槠淠芟?energy gap)大小適中,硅的帶隙值為1.1eV,在室溫下性質(zhì)穩(wěn)定,操控的電壓也毋需太大。然而在新的應(yīng)用需求下,譬如高電壓、大電流、高切換(switch)速度等要求,有更合適的材料來(lái)制作元件,這就是寬能隙材料。

寬能隙材料是指帶隙在2~7eV之間的半導(dǎo)體。兩種材料在科研界受注目已久,而在此時(shí)逐漸浮上產(chǎn)業(yè)臺(tái)面的SiC(Silicon Carbide)與GaN(Gallium Nitride),它們的帶隙分別是3.023eV(6H) / 3.265 eV(4H)與3.4eV(SiC有6H和4H兩種結(jié)構(gòu))。寬能隙的好處是以它為材料制成的元件能夠耐受的電壓、電流和溫度都較硅大幅提升,用術(shù)語(yǔ)來(lái)説,它們的擊穿電壓(breakdown voltage)很高。而且它們切換的速度快、能耗低,這就構(gòu)成了功率元件的基礎(chǔ)條件。

過(guò)去以硅為材料的功率元件包括二極管(bipolar)、功率晶體(power MOSFET)、絕緣柵雙極晶體管(Insulated Gate Bipolar Transistor;IGBT)等,曾經(jīng)也滿足了部分的需求。但是在未來(lái)的5G、電動(dòng)汽車、再生能源、快速充電等新應(yīng)用上,寬能隙元件都有機(jī)會(huì)取代硅基功率元件。

SiC發(fā)展的較早,在150mm上已開(kāi)始生產(chǎn),目前有廠商開(kāi)始生產(chǎn)200mm的晶圓,所以200mm芯片的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)也不是太久的事,GaN目前還在150mm上。但它優(yōu)異的性能讓廠商迫不急待的商業(yè)化。

后摩爾定律時(shí)代增加價(jià)值的方式短期內(nèi)將是百花齊放,但是有三個(gè)明顯的大領(lǐng)域已然先成形:3D、人工智能與自動(dòng)化,第三個(gè)則是材料,寬能隙元件正是其中顯眼的一個(gè)方向!

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原文標(biāo)題:【椽經(jīng)閣】寬能隙元件成小尺寸晶圓廠新希望

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