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化合物半導體應用前景及最新應用

kus1_iawbs2016 ? 來源:未知 ? 作者:胡薇 ? 2018-11-20 11:01 ? 次閱讀

一、化合物半導體應用前景廣闊,市場規模持續擴大

化合物半導體是由兩種及以上元素構成的半導體材料,目前最常用的材料有GaAs、GaN以及SiC等,作為第二代和第三代半導體的主要代表,因其在高功率、高頻率等方面特有的優勢,在信息通信光電應用以及新能源汽車等產業中有著不可替代的地位。

多年以來,世界各國始終對化合物半導體保持高度重視,出臺相關政策支持本國產業的發展,2017年美國、德國、歐盟、日本等國家和組織啟動了至少12項研發計劃,總計投入研究經費達到6億美元。借助各國政府的大力支持,自從1965年第一支GaAs晶體管誕生以來,化合物半導體器件的制造技術取得了快速的進步,為化合物半導體的應用提供了堅實的基礎。目前,隨著ALD(原子層淀積)技術的逐漸成熟,化合物半導體HMET結構以及MOSFET結構的器件質量以及可靠性得到了極大的提升,進一步提高了化合物半導體材料在高頻高壓應用領域的市場占有率。未來隨著化合物半導體制造工藝的進一步提升,在邏輯應用方面取代傳統硅材料,從而等效延續摩爾定律成為了化合物半導體更為長遠的發展趨勢。

作為化合物半導體最主要的應用市場,射頻器件市場經歷了2015年到2016年的緩慢發展,時至今日,隨著5G基站更新換代以及設備小型化的巨大需求,全球射頻功率器件市場在2016年到2022年間將以9.8%的復合年增長率快速增長。市場規模有望從2016年的15億美元增長到2022年25億美元1。此外,隨著通信行業對器件性能的要求逐漸提高,GaN、GaAs等化合物半導體器件的優勢逐漸顯現,傳統硅工藝器件逐漸被取代,預計到2025年,化合物半導體將占據射頻器件市場份額的80%以上。

二、國外企業依然構成化合物半導體產業主體,我國已有所突破

化合物半導體產業鏈可主要分為晶圓制備、芯片設計、芯片制造以及芯片封測等環節,其中晶圓制備進一步細分為襯底制備和外延片制備兩部分。當前,化合物半導體產業多以IDM模式為主,即單一廠商縱向覆蓋芯片設計、芯片制造、到封裝測試等多個環節。然而,隨著襯底和器件制造技術的成熟和標準化,以及器件設計價值的提升,器件設計與制造分工的趨勢日益明顯。

GaAs半導體產業參與者多為Skyworks、Qorvo、Avago等國外IDM廠商。襯底制備、外延片方面,日本處于領先地位。晶圓制備方面,全球GaAs襯底出貨量將保持較強的增長趨勢,預計2023年年出貨量將從目前的170萬片上升到400萬片2。當前,住友電工、Freiberger、日立電纜、以及ATX四家企業采用國際先進的液封直拉法(LEC)和垂直梯度凝固法(VGF),襯底直徑最大可達6英寸,占據了90%以上的國際市場。國內企業如中科晶電、中科鎵英等企業所制備的GaAs襯底普遍在2英寸到4英寸之間,部分企業仍采取較為落后的水平布里其曼法(HB),晶體質量較差。制造代工方面,目前制造產能主要分布在IDM廠商和代工廠中,且代工廠的市場占比正不斷提高,其中***的穩懋占據GaAs晶圓代工市場三分之二以上。產品設計方面,射頻器件由國外IDM廠商壟斷,我國在光電器件領域具備一定競爭力,目前已占全球LED市場近20%的份額。

GaN技術的難點在于晶圓制備工藝,歐美日在此方面優勢明顯,我國則以軍工應用為主,產能略有不足。由于將GaN晶體熔融所需氣壓極高,因此無法通過從熔融液中結晶的方法生長單晶,須采用外延技術生長GaN晶體來制備晶圓。目前最為主流的方法是氫化物氣沉積法,住友電工、三菱化學等企業均采用此法,其中日本住友電工是全球最大GaN晶圓生產商,占據了90%以上的市場份額。我國在GaN晶圓制造方面已經有所突破,蘇州納維公司的2英寸襯底片年產能已達到1500片,4英寸襯底已推出產品,目前正在開展6英寸襯底片研發。GaN外延片根據襯底材料的不同,可分為基于藍寶石、Si襯底、SiC以及GaN四種,分別用于LED、電力電子、射頻以及激光器,其晶體質量依次提升,成本依次升高。

SiC產業格局呈現美歐日三足鼎立態勢,美國產業優勢顯著,歐洲產業鏈完備,日本在設備和模塊技術方面領先。SiC外延片需要根據耐壓程度進行定制,因此目前仍然以IDM企業內部供應為主,占據外延市場的80%左右,主流技術為低壓化學氣相沉積(LPCVD)技術,未來隨著器件加工技術的不斷成熟,產品將趨于標準化,將有更多企業使用外部供應商產品,預計2020年其份額將超過50%。

三、光電器件、微波射頻、電力電子是目前主要應用領域

光電器件方面,主要應用包括太陽電池、半導體照明、激光器和探測器等。基于GaAs的化合物半導體光伏電池有著比Si基光伏電池更高的效率和更好的耐溫性;紫色激光器用于制造大容量光盤制造、醫療消毒、熒光激勵光源等;藍光、綠光、紅光激光器實現激光電視顯示;普通非增益GaN紫外探測器涉及導彈預警、衛星秘密通信、環境監測、化學生物探測等領域。

在微波射頻方面,化合物半導體最主要的應用場景是射頻功率放大器,在移動通信、導航設備、雷達電子對抗以及空間通信等系統中是最為核心的組成部分,其性能直接決定了手機等無線終端的通訊質量。在全球5G通信發展迅速的背景下,移動通訊功率放大器的需求量將呈現爆發式增長,其中,終端側功率放大器將延續GaAs工藝,而在基站側,傳統的Si基LDMOS工藝將被有著更高承載功率、效率更具優勢的GaN工藝所取代,以滿足基站小型化的需求。

在功率器件方面,化合物半導體主要應用于高壓開關器件,與傳統的Si工藝器件相比,化合物半導體器件具有更高的功率密度、更低的能量損耗和更好的高溫穩定性。目前600V以上的高端功率器件解決方案均采用SiC材料,相比傳統Si基IGBT,能量損失可以降低50%。

四、總結

化合物半導體因其良好的高頻高壓特性,在固態光源、微波射頻以及電力電子等方面有著不可替代的作用,未來隨著化合物半導體技術的進一步成熟,其核心地位將愈發凸顯,在摩爾定律即將走向終結的背景下,化合物半導體技術無疑為集成電路的發展開辟出一條全新的路徑。

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原文標題:化合物半導體技術概述及最新應用

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