改革開(kāi)放以來(lái)，我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有、從小到大的重大轉(zhuǎn)變，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展中的地位和作用顯著提升。特別是黨的十八大以來(lái)，我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)不斷取得新進(jìn)展，核心技術(shù)逐步突破，市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大，專利和標(biāo)準(zhǔn)化成果豐碩。為集中反映我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的方方面面，中國(guó)電子報(bào)特別策劃推出“改革開(kāi)放40年·電子信息產(chǎn)業(yè)”特刊，邀請(qǐng)主管部門、專家學(xué)者撰寫文章，從集成電路、電子應(yīng)用、電子專用設(shè)備、電子材料、超高清視頻產(chǎn)業(yè)、彩電、電子元件、傳感器等方面，講述改革開(kāi)放以來(lái)電子信息產(chǎn)業(yè)各領(lǐng)域的主要成就，提出新時(shí)代我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的思路建議。

作為電子信息制造業(yè)的重要一環(huán)，電子專用設(shè)備在產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用，是推動(dòng)電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展的根基，也是推動(dòng)電子信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)進(jìn)步的引擎。裝備強(qiáng)則國(guó)強(qiáng)，我國(guó)改革開(kāi)放以來(lái)，中國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了從“0”到“1”的跨越，從無(wú)到有，聚沙成塔。如今，隨著中國(guó)成為全球半導(dǎo)體版圖中最具活力的土地，中國(guó)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)也迎來(lái)了發(fā)展的黃金時(shí)期。

千錘百煉見(jiàn)證產(chǎn)業(yè)成長(zhǎng)與突破

我國(guó)電子專用設(shè)備行業(yè)在改革開(kāi)放前非常弱小，尚未形成完整的產(chǎn)業(yè)鏈。國(guó)營(yíng)第七○○廠(北方華創(chuàng)前身)、國(guó)營(yíng)第七○八廠、國(guó)營(yíng)第七○九廠、電子45所、電子48所等電子專用設(shè)備企業(yè)及研究所僅能研發(fā)和制造一些粗放型的基礎(chǔ)設(shè)備，在計(jì)劃經(jīng)濟(jì)模式下自給自足。

改革開(kāi)放初期，隨著國(guó)際市場(chǎng)的逐步開(kāi)放，以及國(guó)外先進(jìn)技術(shù)的引進(jìn)，我國(guó)電子專用設(shè)備業(yè)逐漸開(kāi)啟了“以市場(chǎng)換技術(shù)”的拓展模式，全國(guó)范圍內(nèi)采購(gòu)了不少生產(chǎn)線，基本都是整線采購(gòu)國(guó)外成線或二手線。而此時(shí)剛剛從計(jì)劃經(jīng)濟(jì)體制中“斷奶”的國(guó)營(yíng)設(shè)備企業(yè)和研究所，沒(méi)訂單、經(jīng)驗(yàn)淺，非常不受市場(chǎng)青睞。一時(shí)間，國(guó)內(nèi)專用設(shè)備企業(yè)備受沖擊。

20世紀(jì)八九十年代，中國(guó)電子專用設(shè)備行業(yè)遭遇冷板凳后，各設(shè)備廠商都在艱難爬坡，努力改變局面。

以國(guó)營(yíng)第七○○廠為例，企業(yè)甚至先后嘗試了洗衣機(jī)、過(guò)載保護(hù)器、負(fù)離子發(fā)生器、醫(yī)療腎石機(jī)等各類設(shè)備的生產(chǎn)。之所以這樣做，一方面，在不斷尋找市場(chǎng)，尋找賴以生存的產(chǎn)品;另一方面，看好中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的未來(lái)，因此一直堅(jiān)守設(shè)備陣地。當(dāng)時(shí)，國(guó)營(yíng)第七○○廠與美國(guó)某半導(dǎo)體設(shè)備公司進(jìn)行合作，在北京設(shè)立了該公司在中國(guó)的第一家客戶服務(wù)支持中心。之后，雙方又開(kāi)展合作，成立了研發(fā)先進(jìn)刻蝕機(jī)技術(shù)的合資公司。盡管后來(lái)項(xiàng)目被取消，但這些合作項(xiàng)目都為我國(guó)培養(yǎng)了一批掌握當(dāng)時(shí)先進(jìn)研發(fā)技術(shù)和服務(wù)能力的專業(yè)人才，這些人才中很多直到現(xiàn)在還一直奉獻(xiàn)和服務(wù)于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，而且在企業(yè)中發(fā)揮著不可替代的骨干作用。

而隨著真空開(kāi)關(guān)管、彩色顯像管等設(shè)備的技術(shù)難關(guān)不斷被攻克，國(guó)產(chǎn)設(shè)備業(yè)重見(jiàn)曙光，并迅速實(shí)現(xiàn)了這些設(shè)備的全面國(guó)產(chǎn)化。

厚積薄發(fā)踏上高速發(fā)展快車道

進(jìn)入新世紀(jì)，伴隨著新能源光伏、LED行業(yè)的興起，中國(guó)電子專用設(shè)備行業(yè)踏上高速發(fā)展的快車道。在光伏領(lǐng)域，晶硅太陽(yáng)能電池片整線生產(chǎn)設(shè)備逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)90%，并實(shí)現(xiàn)整線出口，2018年銷售收入預(yù)計(jì)達(dá)到50億元;LED領(lǐng)域，國(guó)產(chǎn)裝備在最關(guān)鍵的MOCVD設(shè)備上取得重要進(jìn)展，刻蝕機(jī)、PVD和PECVD等產(chǎn)品不斷推陳出新，國(guó)產(chǎn)化率也達(dá)到了90%，部分產(chǎn)品憑借優(yōu)越的產(chǎn)品性能和性價(jià)比，遠(yuǎn)銷海外。

同時(shí)，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)及配套裝備產(chǎn)業(yè)在政府的日趨重視下，也進(jìn)入了快速追趕階段。一批12英寸高端集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)了從無(wú)到有的突破，國(guó)產(chǎn)12英寸28nm集成電路芯片關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)入主流生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，14nm刻蝕機(jī)、PVD、LPCVD、單片退火、光學(xué)檢測(cè)、ALD、PECVD等設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)銷售。可以說(shuō)，經(jīng)過(guò)40年的奮斗，國(guó)內(nèi)電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)格局發(fā)生了根本改變，國(guó)產(chǎn)設(shè)備能夠滿足很多制造領(lǐng)域的需求，并在一定程度上推動(dòng)了我國(guó)光伏、LED、平板顯示、MEMS、封裝等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

機(jī)遇難逢共建自主開(kāi)放產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈

改革開(kāi)放40年來(lái)，中國(guó)電子專用設(shè)備整體技術(shù)水平已經(jīng)取得長(zhǎng)足進(jìn)步，逐步實(shí)現(xiàn)從“替代者”到“創(chuàng)新者”的角色轉(zhuǎn)變，在全球產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈中不斷尋找自己的特色發(fā)展之路，但想要在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中占有一席之位，目前還面臨著諸多難題和考驗(yàn)，需要業(yè)內(nèi)人士共同努力。

首先，提高先進(jìn)技術(shù)開(kāi)發(fā)能力，縮短新設(shè)備驗(yàn)證周期。目前國(guó)產(chǎn)設(shè)備技術(shù)水平還處于弱勢(shì)地位，需加強(qiáng)與龍頭用戶或國(guó)際研究機(jī)構(gòu)的戰(zhàn)略合作，以加強(qiáng)下一代新技術(shù)的研發(fā)，在客戶初始研發(fā)階段參與其中，才能取得市場(chǎng)先機(jī)。國(guó)產(chǎn)裝備從研發(fā)到定型，再到生產(chǎn)線DEMO驗(yàn)證，需要經(jīng)過(guò)大量的工藝實(shí)驗(yàn)，并不斷改型優(yōu)化，最后在客戶生產(chǎn)線上需要經(jīng)過(guò)近一年的DEMO驗(yàn)證，設(shè)備生產(chǎn)性能全面達(dá)標(biāo)后方能形成采購(gòu)意向，實(shí)現(xiàn)銷售。如此高昂的工藝試驗(yàn)費(fèi)用，需要很強(qiáng)的融資能力和經(jīng)濟(jì)實(shí)力，也需要來(lái)自產(chǎn)業(yè)各界的持續(xù)支持，讓國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)能夠真正參與到最先進(jìn)生產(chǎn)線制程的工藝研發(fā)中，與國(guó)內(nèi)IDM企業(yè)開(kāi)展深度合作，促進(jìn)核心工藝設(shè)備的研發(fā)和評(píng)估。與此同時(shí)，加快企業(yè)研發(fā)成果的市場(chǎng)化進(jìn)程，也亟須多渠道、集中資金和政策支持發(fā)展龍頭裝備商，打造綜合競(jìng)爭(zhēng)力，重拳出擊，突破核心工藝設(shè)備瓶頸。

其次，亟須打造更健康自主的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，營(yíng)造本土產(chǎn)業(yè)“生態(tài)圈”。知名半導(dǎo)體行業(yè)專家莫大康說(shuō)過(guò)：“‘引進(jìn)’猶如踩在別人肩膀上走路，容易受制于人。改革開(kāi)放40年的教訓(xùn)告訴我們，先進(jìn)的技術(shù)是買不來(lái)的，先進(jìn)的設(shè)備也是買不來(lái)的，我們必須兩條腿走路，自力更生更重要。”目前，我國(guó)高端集成電路裝備整機(jī)約70%的零部件長(zhǎng)期依賴進(jìn)口且價(jià)格居高不下，在一定程度上削弱了我國(guó)高端裝備的整體競(jìng)爭(zhēng)力，自力更生對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件的供應(yīng)問(wèn)題來(lái)說(shuō)，尤為重要。為此，建議從國(guó)家層面加大對(duì)核心零部件、關(guān)鍵原材料的布局，提升芯片制造企業(yè)對(duì)國(guó)產(chǎn)裝備、零部件的支持力度，不斷提高核心零部件的本地配套能力。

再次，加快國(guó)內(nèi)外的整合兼并。縱觀國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷程，國(guó)際龍頭企業(yè)基本都經(jīng)歷了自身發(fā)展與國(guó)際并購(gòu)相結(jié)合的模式，形成大者恒大的局面，壟斷趨勢(shì)越來(lái)越明顯。中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要與國(guó)際巨頭競(jìng)爭(zhēng)，必須提高自身的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力，這需要加強(qiáng)各設(shè)備企業(yè)的互相協(xié)同，推動(dòng)企業(yè)間的兼并整合，提升企業(yè)在對(duì)外并購(gòu)中的競(jìng)爭(zhēng)實(shí)力。

最后，加快人才培養(yǎng)速度，改善人才機(jī)制。集成電路裝備是人才密集的產(chǎn)業(yè)，需要大量的高素質(zhì)研發(fā)人才，人才是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素之一。經(jīng)過(guò)近十年的發(fā)展，我國(guó)集成電路裝備人才隊(duì)伍迅速壯大，一批高端人才加盟到國(guó)內(nèi)的研發(fā)隊(duì)伍中，形成了一支極具創(chuàng)新力的人才隊(duì)伍，擁有數(shù)千項(xiàng)專利，初步形成了較為完善的知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)體系。但相比快速發(fā)展的產(chǎn)業(yè)，人才的缺口依然很大，需求依然很急迫。政府要聯(lián)合高校、科研機(jī)構(gòu)加大人才培養(yǎng)規(guī)模，加快人才培養(yǎng)速度。同時(shí)企業(yè)也要改善激勵(lì)機(jī)制，以吸引更多高端人才加盟。

2018年，全球半導(dǎo)體制造設(shè)備的銷售額預(yù)計(jì)將達(dá)到621億美元，將創(chuàng)歷史新高，中國(guó)大陸排名將首次上升至第二名。全球集成電路制造業(yè)向中國(guó)大陸轉(zhuǎn)移大趨勢(shì)不可逆轉(zhuǎn)，機(jī)遇千載難逢，亟須業(yè)界同仁，聚力同心，開(kāi)放創(chuàng)新，產(chǎn)學(xué)研結(jié)合發(fā)展，吸引更多力量參與到電子專用設(shè)備行業(yè)中來(lái)，共建自主、開(kāi)放的產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈。