2016年，ASML公司宣布斥資20億美元收購德國蔡司公司25%的股份，并投資數億美元合作研發新一代透鏡，而ASML這么大手筆投資光學鏡頭公司就是為了研發新一代EUV***。

日前，韓媒報道稱ASML公司正積極投資研發下一代EUV***，與現有的***相比，二代EUV***最大的變化就是High NA（高數值孔徑）透鏡，通過提升透鏡規格使得新一代***的微縮分辨率、套準精度兩大***核心指標提升70%，達到業界對幾何式芯片微縮的要求。

在這個問題上，ASML去年10月份就宣布與IMEC比利時微電子中心合作研發新一代EUV***，目標是將NA從0.33提升到0.5以上，而從***的分辨率公式——***分辨率=k1*λ/NA中可以看出，NA數字越大，***分辨率越高，所以提高NA數值孔徑是下一代EUV***的關鍵，畢竟現在EUV極紫外光已經提升過一次了。

之前ASML公布的新一代EUV***的量產時間是2024年，不過最新報道稱下一代EUV***是2025年量產，這個時間上臺積電、三星都已經量產3nm工藝了，甚至開始進軍2nm、1nm節點了。

在***這個領域，荷蘭的ASML公司是毫無疑問的王者。目前最先進的***就是來自這家ASML公司生產的EUV***，每臺售價超過1億美元，而且供不應求。

ASML主要業務是***，在***領域處于絕對領先的地位。在45納米以下制程的高端***市場中，占據80%以上的市場份額，而在EUV***領域，目前處于絕對壟斷地位，市占率為100%，處于獨家供貨的狀態。阿斯麥的主要客戶為全球一線的晶圓廠，除了英特爾、三星和臺積電這三大巨頭之外，國內的中芯國際也是阿斯麥的客戶。

科普一下，阿斯麥的***按照使用的光源不同，可以分為DUV***和EUV***。DUV是Deep Ultra Violet，即深紫外光；EUV是Extreme Ultra Violet，即極紫外光。DUV***的極限工藝節點是28nm，要想開發更先進的制程，就只能使用EUV***了。