中圖儀器SuperViewW1系列白光干涉儀采用經(jīng)國家計(jì)量檢測(cè)研究院校準(zhǔn)的臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)件，采用該標(biāo)準(zhǔn)片對(duì)儀器的檢測(cè)精度和重復(fù)性進(jìn)行驗(yàn)收，其中臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)片高度在4.7um左右，測(cè)量精度要求為<0.75%，重復(fù)精度要求<0.1%（1σ）（測(cè)量15次獲取的數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)差）。其掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高0.05%的測(cè)量精度重復(fù)性和0.002nm的粗糙度RMS重復(fù)性，具有測(cè)量精度高、分析功能強(qiáng)大、使用方便、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。
SuperViewW1系列白光干涉儀可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
在大多數(shù)的場(chǎng)景中，只需檢測(cè)一個(gè)數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測(cè)超精密器件表面全貌的場(chǎng)景中，借助中圖儀器SuperView W1白光干涉儀的自動(dòng)拼接功能，就能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量。
