--- 產品參數 ---
- 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取
--- 產品詳情 ---
中圖儀器廣東3d光學輪廓儀是以白光干涉技術為原理,能夠以優于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。主要用于表面形貌紋理,微觀結構分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數,廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。
部分參數
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性:0.1nm
表面形貌重復性:0.1nm
臺階測量:重復性:0.1% 1σ;準確度:0.75%
比如在芯片封裝測試流程中,晶圓減薄和晶圓切割工藝需要測量晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數。
SuperViewW1 廣東3d光學輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而對于8英寸及以下晶圓,SuperViewW1-Pro型號增大了測量范圍,定制版真空吸附盤,穩定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設計,隔離地面震動與噪聲干擾。




SuperViewW1廣東3d光學輪廓儀的雙通道氣浮隔振系統設計,既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩定工作,可以有效隔絕地面傳導的振動,同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動,確保儀器在車間也能正常工作。
為你推薦
-
高精度3D白光干涉儀2025-06-05 10:37
產品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
一鍵圖像尺寸閃測儀2025-06-05 10:35
產品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
激光跟蹤高精度動態測量儀2025-06-05 10:31
產品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
國產柔性三坐標測量儀2025-06-05 10:14
產品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
緊湊型臺式掃描電鏡設備2025-06-05 10:11
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
高效精準閃測儀2025-06-04 15:53
產品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
高穩定性光纖激光尺2025-06-04 15:52
產品型號:PLR3000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
國產自主高精度三坐標測量機2025-06-04 15:49
產品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
6D空間姿態激光跟蹤儀2025-06-04 15:47
產品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
優于4nm(SE)掃描電鏡2025-06-04 15:45
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。
-
激光干涉儀:解鎖協作機器人DD馬達的精度密碼2025-06-03 17:09
-
共聚焦顯微鏡——賦能光學元件精密質控2025-05-29 14:41
-
wafer晶圓幾何形貌測量系統:厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數據測量2025-05-23 14:27
-
探索微觀世界的“度量衡”:顯微測量儀器解析2025-05-23 14:25
-
掃描電鏡:打開微觀世界的“超維相機”,科學家如何用它破解納米謎題?2025-05-23 14:22
-
精度不夠?PLR3000光纖激光尺:0.2ppm誤差解鎖微米級制造2025-05-23 14:20
-
光學輪廓儀有著以下幾大技術特點2025-05-21 14:47
-
大量程粗糙度輪廓儀適用于哪些材質和表面?2025-05-21 14:45
-
三維表面輪廓儀的維護保養是確保其長期穩定運行的關鍵2025-05-21 14:42
-
為生命護航|激光跟蹤儀檢測X射線計算機斷層掃描成像系統的應用2025-05-16 15:39
-
方案上新|軸承行業測量解決方案免費下載2024-11-28 16:42
-
大尺寸部件安裝精度測量:GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
上傳時間:2025-03-21 11:34
0次下載 -
上傳時間:2025-03-21 11:26
0次下載 -
上傳時間:2025-03-14 14:24
0次下載