白光干涉儀測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所無(wú)法比擬的。
中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀基于白光干涉原理，以非接觸方式，亞納米分辨率，測(cè)量分析樣品表面形貌。它是以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品功能
1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；
2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；
3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；
6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。
應(yīng)用案例：新能源行業(yè)
引導(dǎo)新能源汽車(chē)電池涂膠檢測(cè)系統(tǒng)：
采用點(diǎn)成線、線成面的原理，利用白光干涉儀，以根本解決由于工件加工問(wèn)題為目的，對(duì)工件進(jìn)行多點(diǎn)平面擬合，配合工業(yè)機(jī)器人的點(diǎn)運(yùn)動(dòng)算法，對(duì)點(diǎn)軌跡進(jìn)行修正。3D光學(xué)輪廓儀成像原理根據(jù)被檢測(cè)工件的三維信息建立起三維模型，利用該模型提取的信息進(jìn)行圖像處理，將獲取到的三維信息發(fā)送給機(jī)器人執(zhí)行動(dòng)作。
在測(cè)量過(guò)程中，SuperViewW1白光干涉儀在垂直光軸方向，*快1秒內(nèi)，做一次縱向掃描；在掃描過(guò)程中，攝像頭和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)對(duì)干涉條紋變化進(jìn)行采樣和分析，從而以埃級(jí)縱向分辨率，構(gòu)建出視場(chǎng)范圍內(nèi)，包括幾百萬(wàn)像素的數(shù)據(jù)3D形貌地圖。基于干涉原理的白光光學(xué)輪廓儀，縱向分辨率與放大倍率無(wú)關(guān)，在低倍率大視場(chǎng)范圍內(nèi)，也可以實(shí)現(xiàn)埃級(jí)分辨率。光學(xué)輪廓儀以非接觸3D方式檢測(cè)和表征樣品表面，不會(huì)有損傷樣品表面的風(fēng)險(xiǎn)，其3D檢測(cè)模式效率也很高。
