現代化工業生產中，表面微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響，所以只有準確的三維形貌測量，才能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質量，所以說表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。
中圖儀器研發生產的SuperView W1光學輪廓儀白光干涉儀，利用白光干涉掃描技術為基礎，結合精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，從納米到毫米范圍內的樣品表面微觀形貌檢測都可以做到。幾乎在任何超精密加工行業領域中都可以進行從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等的高精度測量。
產品參數
產品性能
縱向掃描：≤10.3mm，與選用物鏡相關
掃描幀速：50FPS/s
粗糙度重復性：0.005nm（依據ISO 25178-2012）
光學分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關
最大點數：1048576（標準）
臺階測量：準確度≤0.3%，重復性≤0.08%1σ
標準配置
可選配置
SuperView W1光學輪廓儀白光干涉儀分辨率0.1μm，重復性0.1%，具有測量精度高、分析功能強大、測量參數齊全、使用方便等優點，其獨特的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質量檢測。操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。應用領域廣泛，適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、波紋度、臺階高度、孔隙間隙、面形輪廓等表面形貌特征進行測量和分析。
應用領域
應用案例
