中圖儀器CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備。采用的鎢燈絲電子槍控制相對(duì)簡(jiǎn)單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用，尤其是對(duì)于那些沒(méi)有深厚電子顯微鏡操作經(jīng)驗(yàn)的初學(xué)者或非專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，更容易快速熟悉和使用設(shè)備，開(kāi)展相關(guān)的檢測(cè)和研究工作。
不同于立式電鏡，CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù)，展現(xiàn)出色的性能。
核心優(yōu)勢(shì)
1、緊湊靈活，突破空間限制
（1）CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡臺(tái)式設(shè)計(jì)，體積小巧，輕松擺放在桌面或狹小空間（如手套箱、移動(dòng)實(shí)驗(yàn)室），節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。
（2）支持快速移機(jī)，一臺(tái)設(shè)備滿足多場(chǎng)景需求，助力科研效率提升。
2、高性能，納米級(jí)分辨率
（1）空間分辨率優(yōu)于4nm（SE），支持高達(dá)200,000倍放大，精準(zhǔn)捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。
（2）高襯度成像系統(tǒng)，快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號(hào)，滿足材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域的需求。
3、抗振防磁，穩(wěn)定無(wú)懼挑戰(zhàn)
（1）特殊隔振設(shè)計(jì)（CEM3000B搭載復(fù)合抗振系統(tǒng)），消除環(huán)境振動(dòng)與電磁干擾，保障高倍成像質(zhì)量。
（2）適用于工業(yè)車間、車載實(shí)驗(yàn)室等復(fù)雜環(huán)境，穩(wěn)定可靠。
4、高效便捷，一鍵智能操作
（1）快速抽放氣技術(shù)：低真空模式僅需40秒（CEM3000B），高真空模式最快1.5分鐘，大幅縮短等待時(shí)間。
（2）自動(dòng)對(duì)焦、消像散、圖像增強(qiáng)功能，一鍵生成高質(zhì)量圖片，降低操作門檻。
5、靈活拓展，滿足多樣需求
（1）可選配低真空系統(tǒng)（5~100Pa），兼容導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品觀測(cè)。
（2）支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀，搭配顆粒統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量等定制功能，滿足多領(lǐng)域分析需求。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級(jí)別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
應(yīng)用范例
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A（大樣品倉(cāng)型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配：自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配：顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X，Y，T |
手動(dòng)軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉(cāng)內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。、
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