中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌采用鎢燈絲電子槍，可以在相對較低的真空度下工作，通常只需要兩級真空泵系統獲得 0.001Pa 左右的真空度即可滿足要求，而不需要像場發射電子槍那樣的超高真空環境，這不僅降低了真空系統的復雜度和成本，還縮短了抽真空的時間，提高了工作效率。
CEM3000系列中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析，不同于立式電鏡，它無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。
產品功能
1.高分辨率，滿足用戶觀測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數
滿足專業用戶的調節需求；
5.高抗振防磁性能
強抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
可實現四分窗同時掃描成像。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調節。
2.超高分辨率優于4nm(SE)，優于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優異。
應用領域
該電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設計，避免使用環境造成的影響，拓寬了應用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節功能，能夠對不同類型的樣品進行觀測，具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭，同時接收多種信號，對樣品進行分析。
憑借中圖儀器SEM超清掃描電鏡品牌空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調節，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列上還運用了快速抽放氣設計，讓用戶在使用時不再等待，且全系列可選配低真空系統，以便精準調節樣品倉內真空度，滿足不同樣品的觀測需求。此外，該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件，滿足用戶的拓展性需求，這使其在材料科學、生命科學、納米技術、能源等多個領域得到了廣泛應用。
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩定。
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優于4nm(SE)，優于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數 | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統 | 真空度 | 高真空：優于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
懇請注意：因市場發展和產品開發的需要，本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。
