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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā)、生產和銷售。

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納米級成像高分辨掃描電鏡

型號: CEM3000系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產品參數 ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

--- 產品詳情 ---

中圖儀器CEM3000系列納米級成像高分辨掃描電鏡高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調節(jié)。超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。

納米級成像高分辨掃描電鏡

CEM3000系列納米級成像高分辨掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便,使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。

 

產品功能

1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;

2.快速抽放氣,縮短等待時間;

3.高易用性

可快速成像,一鍵成片;

4.多種成像參數

滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求;

5.高抗振防磁性能

強抗干擾能力;

6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據需要設定電鏡樣品倉內真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測。

7.大樣品倉

SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

8.多探測器

可實現四分窗同時掃描成像。

 

性能特色

1、緊湊外型

該系列臺式掃描電鏡整機經過深入優(yōu)化,在結構方面達到了優(yōu)尺寸利用率,確保其出色的性能不再受環(huán)境尺寸的制約,無論是日常的工作桌面、還是狹小空間,CEM3000系列臺式掃描電鏡總能陪伴用戶出現在有需要的地方。

2、自動調節(jié)

用戶可借助自動調節(jié)功能,無需過多人工調節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

3、高分辨率

CEM3000系列電鏡具有出色的電子光學系統(tǒng),優(yōu)于4nm的空間分辨率,保證了高放大倍數下的清晰成像,能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求。

4、高抗振防磁性能

該系列臺式電鏡采用特殊設計的隔振措施,能夠減小環(huán)境中振動對電鏡的干擾,并且全系列電鏡具有強抗電磁干擾性能,消除場地因素對電鏡的影響。

其中CEM3000B更是采用本公司設計的高性能復合抗振系統(tǒng)來消除外界振動對電鏡的影響,即使是在高放大倍數下成像,用戶也不用擔心環(huán)境振動對電鏡產生的干擾。

5、選配低真空系統(tǒng)

根據用戶需求,可選配低真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)讓用戶可以任意設定電鏡工作時的倉內真空度(倉內真空度低可達100Pa),以滿足不同類型樣品的觀測需求。

6、操縱手柄

操作手柄上集成了多個方向位移控制,自動調整及自動對焦、自動消像散等功能,可快速完成觀測位置調整及自動成像。

7、豐富的定制功能

根據特定行業(yè)的需求,定制了自動化的顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量等選配功能。

可根據用戶需求提供全自動軟件定制服務。

8、高精度樣品臺

該系列臺式電鏡采用全新設計的樣品臺,各自動軸均保證了動作精度和高重復性。

9、高襯度成像系統(tǒng)

采集系統(tǒng)具有高信噪比,使用戶在快速掃描時也能獲取到充足的信號。即使針對微弱信號,CEM3000系列臺式電鏡搭載的處理算法亦可將信號從背底中進行高效剝離,確保成像質量。

 

應用領域

CEM3000系列納米級成像高分辨掃描電鏡外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調節(jié)功能,能夠對不同類型的樣品進行觀測,具有高空間分辨率。

用戶可在CEM3000掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

納米級成像高分辨掃描電鏡

 

機型選擇

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B(抗振型):專為振動環(huán)境設計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。

納米級成像高分辨掃描電鏡

 

部分技術指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統(tǒng)

真空度

高真空:優(yōu)于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

X,Y,T

手動軸

R,Z

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉、電子束旋轉)

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm

 

樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統(tǒng)

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發(fā)展和產品開發(fā)的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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