中圖儀器CEM3000自主研發(fā)臺式掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現(xiàn)出色的性能。
產品功能
1）CEM3000自主研發(fā)臺式掃描電鏡緊湊的外型，能夠不受場地尺寸制約，真正做到了空間適用性，用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求，輕松移機，一臺機器多處開花；
2）高分辨率，能夠對微尺寸特征進行觀測分析，滿足用戶的觀測需求；
3）快速抽放氣，憑借真空系統(tǒng)設計，該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間；
4）高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動調節(jié)功能，無需過多人工操作，就可得到高質量拍攝圖片；
5）大樣品倉，CEM3000A在保證較小外型尺寸同時，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
6）高抗振防磁性能，全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B使用本公司技術，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；
7）可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設定電鏡樣品倉內真空度，進而對不同類型的樣品進行觀測；
8）能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇，滿足專業(yè)用戶的調節(jié)需求；
9）搭配有多種探頭，能夠對樣品進行多種手段的分析。
應用領域
材料科學：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結構分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質檢：錫球顆粒焊接質量、精密器件表面粗糙度檢測。
CEM3000自主研發(fā)臺式掃描電鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng)，讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。
應用案例
金屬材料分析
花粉微觀形態(tài)
機型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動環(huán)境設計，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
部分技術指標
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標配 |
背散射電子 | 標配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強 | |
選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X，Y，T |
手動軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內相機 | 導航相機 | 標配高分辨彩色相機 |
側視相機 | 標配高分辨紅外相機 | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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