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伯東企業(yè)(上海)有限公司

上海伯東是德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品,美國 KRI 離子源,美國HVA 真空閥門,美國 inTEST熱流儀代理商

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上海伯東金屬熱蒸鍍設(shè)備 Metal Thermal

型號: Metal Thermal

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 產(chǎn)地 中國臺灣

--- 產(chǎn)品詳情 ---

因產(chǎn)品配置不同, 價格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實際成交合同為準(zhǔn)
金屬熱蒸鍍設(shè)備 Metal Thermal
熱蒸發(fā)是物理氣相沉積 PVD 中最常用方法, 也是 PVD 最簡單的形式之一. 使用電加熱的蒸發(fā)源可用于沉積大多數(shù)的有機和無機薄膜, 其中以電阻式加熱法最為常見的. 這些蒸發(fā)源的優(yōu)點為它們可以提供一種簡單的薄膜沉積方法, 以電流通過其容納材料的舟為方式, 從而加熱材料, 當(dāng)沉積材料的蒸氣壓超過真空室的溫度時, 材??料將開始蒸發(fā)并沉積到基板上.

上海伯東代理的熱蒸鍍設(shè)備可以精準(zhǔn)的控制蒸發(fā)速度, 且薄膜的厚度和均勻度小于+/- 3%,  使用美國 KRi 離子源可用于基板清潔和加速材料的蒸發(fā)速度, 并且離子源在材料沉積過程中可幫助沉積并使沉積后的薄膜更為致密.
 

金屬熱蒸鍍設(shè)備Metal Thermal


上海伯東金屬熱蒸鍍設(shè)備配置和優(yōu)點:
客制化的基板尺寸, 最大直徑為 12寸晶圓或 470 x 370 mm2 (玻璃)
寬大的前開式門, 并有兩個窗口和窗口遮版用于觀察基材和蒸發(fā)源
優(yōu)異的薄膜均勻度小于±3%
具有順序操作或共沉積的多個蒸發(fā)源
基板可加熱到 800°C
利用載臺旋轉(zhuǎn)來改善薄膜沉積之質(zhì)量
基板至蒸發(fā)源之間距為可調(diào)式的
每個蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板

金屬熱蒸鍍設(shè)備基本參數(shù):

系統(tǒng)類型超高真空高真空高真空緊湊型
腔室設(shè)計鎳墊圈密封O型圈密封O型圈密封
極限真空5X10-9 Torr3X10-7 Torr5X10-7 Torr
腔室密封一些密封圈全部密封圈全部密封圈
Load-lock標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)可選
蒸發(fā)源舟型或坩堝
7-25 cc
舟型或坩堝
7-25 cc
舟型或坩堝
7-25 cc
基板4-8 英寸
加熱 / 水冷  
4-8 英寸
加熱 / 水冷
2-4 英寸
加熱 / 水冷
真空泵低溫泵 / 分子泵
冷阱設(shè)計
低溫泵 / 分子泵
冷阱設(shè)計
分子泵和油泵
監(jiān)控真空規(guī) 和 QCM真空規(guī) 和 QCM真空規(guī) 和 QCM
工藝控制速率控制速率控制速率控制
供氣氮氣氮氣氮氣
手套箱連接可選可選可選


腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
寬大的前開式門, 并有兩個窗口和窗口遮版用于觀察基材和蒸發(fā)源
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr

選件
可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合 KRi 離子源, 濺鍍槍, 電子束, 等離子清潔...
基板冷卻
殘留氣體分析儀

應(yīng)用領(lǐng)域
金屬材料研究
納米薄膜
太陽能電池

若您需要進(jìn)一步的了解熱蒸鍍設(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機 107


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