伯東企業（上海）有限公司方案

• Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀 CVD 清洗終點優化2024-10-18 13:42

  

  上海伯東日本 Atonarp Aston Impact 高靈敏度質譜分析儀, 基于四級桿的質量分離, Aston 質譜分析儀設計緊湊, 適用于氣體分析和過程氣體監測, 滿足半導體工藝過程中, 沉積, 刻蝕, 光刻等氣體分析.

  CVD 分析儀 半導體 質譜分析 235瀏覽量

• Aston 質譜儀等離子體刻蝕過程及終點監測2024-10-18 13:33

  

  刻蝕是半導體制造中最常用的工藝之一, 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜儀適用于等離子體刻蝕過程及終點監測 (干法刻蝕終點檢測), 通過持續監控腔室工藝化學氣體, 確保半導體晶圓生產的高產量和最大吞吐量.

  分析儀 半導體 監測 質譜分析 295瀏覽量

• Aston 質譜分析儀搭配 Scrubber 半導體尾氣處理設備進行氣體檢測2024-10-18 13:24

  

  半導體工藝一般會產生各種工藝氣體和顆粒材料副產品, 有害氣體需要以受控方式進行處理. 上海伯東日本 Atonarp Aston 質譜分析儀與 Scrubber 半導體尾氣處理設備聯用, 對處理完的氣體在線監測分析, 并對分析數據進行監控和記錄, 使其符合環境法規.

  分析儀 半導體 氣體檢測 264瀏覽量

• 鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕2024-09-13 10:59

  

  隨著基于鈮酸鋰 LN 的光源, 光調制, 光探測等重要器件的實現, 鈮酸鋰 LN 光子集成芯片有望像硅基集成電路一樣, 成為高速率, 高容量, 低能耗光學信息處理的重要平臺, LiNbO3 薄膜刻蝕成特定的圖形才能用于芯片, 因 LiNbO3 惰性特性, 使用 ICP 或 RIE 工藝無法完成刻蝕, 上海伯東 IBE 離子束刻蝕機為鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜刻蝕提供解決方案

  刻蝕機 離子束 500瀏覽量

• 美國 Gel-Pak 應用于 VCSEL 芯片生產2024-09-13 10:28

  

  上海伯東美國 Gel-Pak 提供 VCSEL 芯片生產使用的 DGL 膠膜和真空釋放托盤

  VCSEL 芯片 373瀏覽量

• 美國進口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例2024-09-13 10:10

  

  上海伯東美國 KRi 大尺寸考夫曼離子源 KDC 160 適用于 2-4英寸的硅片刻蝕和清潔應用, KRi KDC 160 是直流柵網離子源, 高輸出離子束電流超過 1000mA. 高功率光束無需對離子源進行水冷卻即可實現. KDC 160 配備了雙燈絲. 在標準配置下, KDC 160 典型離子能量范圍為 100 至 1200eV, 離子電流可超過 800mA.

  電流 硅片 離子束 322瀏覽量

• inTEST 熱流儀車載顯示器高低溫光學測量應用2024-09-12 14:17

  

  通過美國 inTEST ATS-545 熱流儀給車載顯示器升溫或降溫, 測量其在不同溫度下任意點的光學特性, 實現高低溫環境 -40 至 100℃ 下產品的亮度, 色度, 響應時間和可視角度測試.

  顯示器 高低溫測試機 258瀏覽量

• HiCube 80 Eco 分子泵組搭配低溫阻抗測試儀應用2023-12-08 14:29

  

  上海伯東代理德國 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 80 Eco 成功應用于低溫阻抗測試系統, 分析電子元器件在低溫環境下電阻的變化.

  測試儀 電子元器件 346瀏覽量

• SF6 密度繼電器氦質譜檢漏法2023-12-08 14:21

  

  應用于各類電廠, 變電站, 電氣化鐵道等行業的 SF6 六氟化硫密度繼電器, 通過監測密封容器中的 SF6 氣體的密度, 診斷出電氣設備中 SF6 氣體的泄漏, 防止因為 SF6 氣體密度的下降而導致其電氣絕緣能力的下降. 嚴重時會發生閃絡擊穿, 威脅人身設備安全.

  儀表 密度繼電器 繼電器 501瀏覽量

• 新能源汽車 IGBT 功率器件高低溫沖擊測試2023-12-01 15:48

  

  車用 IGBT 模塊對產品性能和質量的要求要明顯高于消費和工控領域, 需要通過嚴格的車規認證, 汽車 IGBT 模塊測試標準主要參照 AEC-Q101 和 AQG-324, 其中溫度沖擊, 功率循環, 溫度循環, 結溫等是其中重要的測試要求, 功率循環和溫度循環作為代表的耐久測試, 測試循環次數可能從幾萬次到十萬次不等.

  IGBT 新能源汽車 測試 716瀏覽量