光刻機(jī)的工作臺是一個(gè)六自由度的運(yùn)動臺，其中X/Y向運(yùn)動臺是的核心基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重復(fù)）精度（Linear Positioning）的關(guān)鍵，是后續(xù)實(shí)現(xiàn)六自由度的控制的基石，是多層曝光對準(zhǔn)精度的源頭。
SJ6000激光干涉儀檢測一臺光刻機(jī)XY軸的角擺和直線度：
Y軸測量軸長600mm，測得角度Yaw結(jié)果0.86″。
X軸測量軸長225mm，其中垂直直線度測得結(jié)果0.58μm。
SJ6000光刻機(jī)定位雙頻激光干涉儀可以準(zhǔn)確的進(jìn)行誤差測量和補(bǔ)償。任何機(jī)床加工設(shè)備，在長時(shí)間的使用都會由于自身磨損或者其它一些原因造成加工超差的發(fā)生。一般出現(xiàn)這種情況時(shí)，就需要使用激光干涉儀進(jìn)行精度的再校準(zhǔn)，SJ6000激光干涉儀可同時(shí)測量出機(jī)床的螺距誤差值和反向間隙（又稱背隙），通過精度再校準(zhǔn)，加工精度會大大提高。
測量軟件
1.友好的人機(jī)界面；
2.豐富的應(yīng)用功能模塊；
3.向?qū)降牟僮髁鞒蹋?br>4.簡潔化的記錄管理；
5.支持中文、英文和俄文界面；
6.支持企業(yè)專屬模板定制。
7.內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
激光的高方向性、高相干性和高單色性特點(diǎn)，使其具有普通光源所沒有的優(yōu)勢。以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000光刻機(jī)定位雙頻激光干涉儀機(jī)床精度測試的分辨率可達(dá)納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。
