--- 產品參數 ---
- 注釋 更多詳細產品信息,請聯系我們獲取
--- 產品詳情 ---
中圖儀器VT6000系列轉盤共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。
技術指標
型號:VT6100
測量原理:共聚焦光學系統
光源:白光LED
行程范圍:100*100*100mm
視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量重復性(1σ):12nm
高度測量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率:0.5nm
寬度測量重復性(1σ):40nm
寬度測量精度:± 2%
寬度測量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
如VT6000系列轉盤共聚焦顯微鏡能應用于半導體制造及封裝工藝,能夠對具有復雜形狀和陡峭的激光切割槽的表面特征進行非接觸式掃描并重建三維形貌。共聚焦顯微鏡具有高光學分辨率,通過清晰的成像系統能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況,例如:觀察晶圓表面是否出現崩邊、刮痕等缺陷。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率,軟件自動捕捉特征邊緣進行二維尺寸快速測量,從而更加有效的對晶圓表面進行檢測和質量控制。

在對晶圓進行激光切割的過程中,需要進行精準定位,以此來保證能在晶圓上沿著正確的輪廓開出溝槽,通常由切割槽的深度和寬度來衡量晶圓分割的質量。VT6000系列共聚焦顯微鏡,其以共聚焦技術為原理,配合高速掃描模塊,專業的分析軟件具有多區域、自動測量功能,能夠快速重建出被測晶圓激光鐳射槽的三維輪廓并進行多剖面分析,獲取截面的槽道深度與寬度信息。


產品功能
1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量;
3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能;
4)設備具備調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能;
5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現批量數據文件的快速分析功能;
應用領域
VT6000系列轉盤共聚焦顯微鏡能對各種產品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
為你推薦
-
高精度3D白光干涉儀2025-06-05 10:37
產品型號:SuperViewW系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
一鍵圖像尺寸閃測儀2025-06-05 10:35
產品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
激光跟蹤高精度動態測量儀2025-06-05 10:31
產品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
國產柔性三坐標測量儀2025-06-05 10:14
產品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
緊湊型臺式掃描電鏡設備2025-06-05 10:11
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
高效精準閃測儀2025-06-04 15:53
產品型號:VX8000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
高穩定性光纖激光尺2025-06-04 15:52
產品型號:PLR3000 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
國產自主高精度三坐標測量機2025-06-04 15:49
產品型號:Mars系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
6D空間姿態激光跟蹤儀2025-06-04 15:47
產品型號:GTS系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。 -
優于4nm(SE)掃描電鏡2025-06-04 15:45
產品型號:CEM3000系列 注釋:如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。
-
激光干涉儀:解鎖協作機器人DD馬達的精度密碼2025-06-03 17:09
-
共聚焦顯微鏡——賦能光學元件精密質控2025-05-29 14:41
-
wafer晶圓幾何形貌測量系統:厚度(THK)翹曲度(Warp)彎曲度(Bow)等數據測量2025-05-23 14:27
-
探索微觀世界的“度量衡”:顯微測量儀器解析2025-05-23 14:25
-
掃描電鏡:打開微觀世界的“超維相機”,科學家如何用它破解納米謎題?2025-05-23 14:22
-
精度不夠?PLR3000光纖激光尺:0.2ppm誤差解鎖微米級制造2025-05-23 14:20
-
光學輪廓儀有著以下幾大技術特點2025-05-21 14:47
-
大量程粗糙度輪廓儀適用于哪些材質和表面?2025-05-21 14:45
-
三維表面輪廓儀的維護保養是確保其長期穩定運行的關鍵2025-05-21 14:42
-
為生命護航|激光跟蹤儀檢測X射線計算機斷層掃描成像系統的應用2025-05-16 15:39
-
方案上新|軸承行業測量解決方案免費下載2024-11-28 16:42
-
大尺寸部件安裝精度測量:GTS激光跟蹤儀的解決方案2024-11-20 14:52
-
輪廓測長|中圖儀器SJ51系列測長機實現高精度二維長度測量2024-01-25 15:37
-
顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準捕捉三維形貌2024-01-25 15:34
-
激光干涉儀檢測機床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21
-
納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49
-
微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學研究的重難點2023-09-22 09:13
-
先進封裝廠關于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26
-
上傳時間:2025-03-21 11:34
0次下載 -
上傳時間:2025-03-21 11:26
0次下載 -
上傳時間:2025-03-14 14:24
0次下載