激光位移測量儀SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

▲主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

技術規格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

內置13份標準，包含GB、ISO、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，并可打印相應的曲線圖和數據報告。

激光位移測量儀SJ6000激光干涉儀采用高性能的穩頻氦氖激光器，采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優點。在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。

激光位移測量儀SJ6000激光干涉儀可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

特點

1.精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。

2.功能廣

可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現龍門機床雙軸同步測量；

可實現對機床回轉軸的測量與校準；

可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；

支持手動或自動進行環境補償。

3.軟件強

友好的人機界面；

豐富的應用功能模塊；

向導式的操作流程；

簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業專屬模板定制。

激光干涉儀測量機床直角

如機器軸垂直度誤差測量（數控機床、坐標測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調整，光學直角尺測量中，允許調整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學方法是好選擇，因為傳統的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內。

SJ6000激光干涉儀易操作，方便攜帶，外形小巧美觀方便攜帶，一套完整的激光干涉儀和鏡組只需要裝在一個類似于行李箱的工具箱中，整體加起來的重量在18kg左右，再加上一個可以自由伸縮調整高度的三腳架（裝在無紡編織袋中），即刻擁有了一套隨時隨地可用于機械測量的解決方案！激光干涉儀與環境補償器都有端口和計算機USB接口相連，實時傳遞檢測數據，供計算機檢定軟件測算，檢定過程輕松易掌握，沒有復雜的程序設定。