該文采用至上而下的方式，介紹了應(yīng)用RF MEMS技術(shù)的雷達(dá)系統(tǒng)，將雷達(dá)子系統(tǒng)與RF MEMS 技術(shù)聯(lián)系起來，具體分析了應(yīng)用于雷達(dá)的RF MEMS 開關(guān)、移相器、濾波器和諧振器。同時，文中以開關(guān)和移相器為例，討論了如何提高RF MEMS 雷達(dá)的性能：修改空氣橋形狀可以提高RF MEMS 收發(fā)（T/R）組件的功率處理能力，從而減少雷達(dá)相控陣的T/R 組件數(shù)量;縮短轉(zhuǎn)換時間的RF MEMS 移相器能夠應(yīng)用于高速電掃描陣列;蜿蜒型5 位分布式MEMS 傳輸線移相器面積僅為5.36 mmx4.72 mm，相比傳統(tǒng)移相器長度降低70%，易于實(shí)現(xiàn)雷達(dá)陣列的小型化。

　應(yīng)用RF MEMS 技術(shù)的雷達(dá)系統(tǒng)

　　由圖1所示單基地（monostatic）調(diào)頻連續(xù)波雷達(dá)的局部原理框圖可知，天線連接著限幅器、對射頻信號功率放大的功率放大器、對回波信號放大的低噪聲放大器、用于變頻的振蕩器和用于切換的開關(guān)。限幅器可以利用RF MEMS 開關(guān)的自激勵現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)，與放大器級聯(lián)的窄帶濾波器可以用相互耦合的MEMS 諧振器并聯(lián)實(shí)現(xiàn)，振蕩器和開關(guān)中也分別包含MEMS 諧振器和開關(guān)。高Q 值（》10 000）RF MEMS 諧振器的使用能夠增強(qiáng)系統(tǒng)抗沖擊性能、減輕雷達(dá)重量，使其易于實(shí)現(xiàn)小型化。同時，RF MEMS 開關(guān)的使用能夠有效降低雷達(dá)的直流功耗。