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具有一定溫度的物體在其內(nèi)部電子和離子的熱運(yùn)動(dòng)的作用下會(huì)不斷地從物體表面輻射出電磁波，在不同溫度的物體之間由于溫度差會(huì)導(dǎo)致其間的輻射傳熱。進(jìn)一步的，當(dāng)上述物體的間距同等溫度下黑體輻射的主波波長(zhǎng)時(shí)（黑體溫度300 K，熱輻射主波波長(zhǎng)為10 Um）會(huì)出現(xiàn)輻射傳熱明顯增強(qiáng)的現(xiàn)象，即兩物體間發(fā)生了近場(chǎng)熱輻射現(xiàn)象。自20世紀(jì)60年代末發(fā)現(xiàn)近場(chǎng)熱輻射現(xiàn)象以來(lái)，國(guó)內(nèi)外科研團(tuán)隊(duì)基于微型探針技術(shù)開(kāi)發(fā)了一些實(shí)驗(yàn)測(cè)量方法，同時(shí)也有團(tuán)隊(duì)采用低導(dǎo)熱材料或懸空薄膜結(jié)構(gòu)開(kāi)展了近場(chǎng)輻射傳熱的實(shí)驗(yàn)測(cè)量例。本文作者是利用懸空薄膜結(jié)構(gòu)微型傳感器開(kāi)展近場(chǎng)輻射傳熱測(cè)量實(shí)驗(yàn)的設(shè)計(jì)者之一，當(dāng)時(shí)的實(shí)驗(yàn)?zāi)康氖菧p少近場(chǎng)熱輻射現(xiàn)象對(duì)微米納米結(jié)構(gòu)傳感器絕熱性能的影響，為傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供參考。本文將以二氧化硅材料為例闡述傳感器設(shè)計(jì)過(guò)程，為利用微型傳感器面向不同材料開(kāi)展近場(chǎng)輻射傳熱測(cè)量提供參考。
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