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激光微加工技術(shù)具有非接觸、加工材料范圍廣、精度高、重復(fù)率高、熱影響區(qū)域小、形狀與尺寸加工柔性高等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微機(jī)械、微電子器件、醫(yī)療器械、航空精密制造等領(lǐng)域。目前，研究超短脈沖激光的微加工，大多數(shù)使用的是低功率激光（P《30W）。與低功率激光相比，高功率超短脈沖激光有更高的加工能力，但目前關(guān)于高功率超短脈沖激光材料去除加工的研究較少，特別是高于100W的激光功率。
中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所先進(jìn)制造所張文武帶領(lǐng)的激光與智能能量場(chǎng)制造工程團(tuán)隊(duì)，在自主研發(fā)的開放式五軸聯(lián)動(dòng)數(shù)控系統(tǒng)基礎(chǔ)上，與二軸掃描振鏡結(jié)合，開發(fā)出五軸聯(lián)動(dòng)300W皮秒激光加工和40W納秒激光加工系統(tǒng)。利用300W皮秒激光加工系統(tǒng)，團(tuán)隊(duì)在銅、鋁、石英等材料上加工微槽，分析了不同加工參數(shù)條件對(duì)微槽寬度及深度的影響。該成果為焦俊科、阮亮、張?zhí)鞚?rùn)、張文武共同完成，并在美國(guó)底特律ASME 2014 Manufacturing Science andEngineering Conference上能量場(chǎng)制造論壇作為主題報(bào)告加以報(bào)道，引起與會(huì)學(xué)者廣泛興趣。
五軸聯(lián)動(dòng)高功率皮秒激光加工系統(tǒng)
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