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靜電式微開關硅懸臂梁的變形分析:介紹了一種計算微開關的硅懸臂梁在電場力作用下的變形的方法, 由于作用在梁上的載荷隨著梁的變形而變化,用積分法計算存在相當困難,以下提出了一種計算變形的新方法:將梁分為m 個小段,則梁上的分布力可近似為m 個集中力,將初始均布載荷分成n 步,逐步加載,在每個載荷步后根據變形結果修正m 個集中力,同時增加一個載荷增量,作為下一步的載荷。只要m 和n 取到充分大,就可得到梁變形的精確結果。
關鍵詞:懸臂梁; 變形; 增量法
關鍵詞:懸臂梁; 變形; 增量法
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