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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>薄膜體聲學諧振器(FBAR)USPCS波段雙工器的制造和性能注意事項

薄膜體聲學諧振器(FBAR)USPCS波段雙工器的制造和性能注意事項

2023-07-26 | pdf | 0.21 MB | 次下載 | 免費

資料介紹

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薄膜的制造工藝流程和測試數據體聲諧振器 USPCS 頻段 (1.9 GHz) 雙工器呈現。這些器件的典型插入損耗Tx/天線為 ~1.8 dB,接收/天線路徑為 ~2.2 dB。隔離性能在 Rx 頻段為 ~ -42 dB 和 ~ -53該技術還演示了Tx頻段的dB。從通帶到阻帶的 10 MHz 滾降可適應頻率隨溫度和允許合理的工藝裕量。
介紹
雖然看似簡單,但懸浮膜FBAR設備的制造并非易事。必須小心采取確保關鍵變量,如中心頻率、聲耦合常數、電氣機械 Q 以及結構問題(包括薄薄膜應力)被仔細控制。所有這些變量必須進行管理以優化性能和可靠性和過程吞吐量。
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