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摘要:提出了基于ZnO壓電薄膜多層結構的2. 4GHz射頻薄膜體聲波諧振器,并進行了研究。采用
修正后的Mason等效電路模型對器件的諧振特性進行了分析和模擬。給出了采用MEMS工藝制
備器件的工藝流程,并利用射頻網絡分析儀對實驗器件進行了測試。利用多點數值擬合的方法消
除射頻測試中引入的寄生分布參數,提取出器件的實際參數:器件的串聯諧振頻率fs 和并聯諧振
頻率fp 分別為2. 3714GHz和2. 3772GHz,相應的有效機電耦合系數為0. 598%;串聯諧振頻率處和
并聯諧振頻率處的Q值分別為500. 3和425. 5, f·Q值乘積達到1. 2 ×1012。該諧振器器件的有效
直徑為200μm,樣品實際尺寸為1. 2mm ×1. 2mm ×0. 3mm,可用來制備體積小、高性能和低相噪的
射頻振蕩器。
關鍵詞:薄膜體聲波諧振器;振蕩器;濾波器;雙工器;射頻微機電系統
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