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由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有較強(qiáng)的反射率，會對依賴反射光信號進(jìn)行圖像重建的光學(xué)輪廓儀造成信號干擾導(dǎo)致ITO膜厚圖像重建失真，因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進(jìn)行測量，由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米，考慮到測量的同時不損傷樣件本身，因而采用具有超微力可調(diào)和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適。
臺階儀是一種常用的膜厚測量儀器，它是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。
CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢。
針對測量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場景，CP200臺階儀提供如下便捷功能：
1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標(biāo)志位；
2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測量；
3）提供SPC統(tǒng)計分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；
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