1 、 HEPA ／ ULPA 過濾器效率測試方法

　　1．1 測試方法及其特點(diǎn)

　　當(dāng)前對 HEPA 過濾器測試方法主要有：

　　（1）DOP 法： 此法是以光度計(jì)作檢測，測試用氣溶膠必須是單分散 （0．31μm） 的 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的。

　　此法靈敏度不如粒子計(jì)數(shù)法，只能用于效率 99．99 ％ （0．3μm） 及 99．999 ％ （0．3 μm） 的 HEPA 過濾器的測試。

　　（2） 粒子計(jì)數(shù)法

　　此法是以離散粒子計(jì)數(shù)器 （DPC） 作為檢測儀器，測試用氣溶膠可以是單分散或多分散液體或固體物質(zhì)，選擇范圍較寬，常用多分散氣溶膠，如 DOP 或其替代的 DOS 等液態(tài)物質(zhì)所發(fā)生的，亦常用 SPL（ 聚苯乙烯乳膠球 ） 固體物質(zhì)所發(fā)生的 0．1-0．2p，m 粒徑的氣溶膠。 此法靈敏度較高，目前主要用于 ULPA 過濾器其 η≥99．999 ％ （0．1-0．2μm） 的測試，當(dāng)然亦可用于 HEPA 過濾器的測試。替代 DOP 法當(dāng)已是趨勢。

　　（3）MPPS 法

　　此法是歐盟 ENl822 標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的，亦是以 DPC 作為檢測儀器，測試用氣溶膠要求同 （2） 。

　　其與粒子計(jì)數(shù)法的區(qū)別主要在于： 以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑， HEPA ／ ULPA 纖維過濾器在某一粒徑下其過濾效率會出現(xiàn)最低，這是因?yàn)樵诖肆较聰U(kuò)散機(jī)理與慣性機(jī)理對過濾器所起的過濾作用，兩者都達(dá)到最低，此粒徑與過濾器的濾料、給結(jié)構(gòu)及濾速有關(guān)，一般在 0．1-0．3μm 間，對 ULPA 過濾器常為 0．1-0．2μm ；過濾器測試時(shí)，需先測定濾料的 MPPS ：另外，其對過濾器效率的測試不是采用整體測試，而是掃描測試每一處的局部穿透率然后統(tǒng)計(jì)處理 （ 按 95 ％置信度 ） 得出 《 整體 ） 穿透率及 （ 整體 ） 效率。最大允許局部穿透率比整體的高 5 倍或更多，見表 1 。

　　此法用于 HEPA ／ ULPA 過濾器的測試，其靈敏度比一般粒子計(jì)數(shù)法還高，更接近實(shí)際，在測效率的同時(shí)亦解決了掃描檢漏。