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為滿足電磁型平面微電機(jī)對(duì)定子繞組線圈的高深寬比及厚度要求，提出一種利用AZ4903光刻膠制作電磁平面微電機(jī)定子繞組的方法。通過反復(fù)摸索，得到了該光刻膠的較理想_的轉(zhuǎn)速一膠膜厚度、前烘時(shí)間一溫度的關(guān)系曲線及合適的曝光、顯影時(shí)間。制作出了厚度為40 m、陡直度良好的定子繞組線圈。把利用該工藝制作的定子繞組和轉(zhuǎn)子裝配后形成了微電機(jī)，通過對(duì)該電機(jī)轉(zhuǎn)速和輸出力矩的測試結(jié)果表明，電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、力矩波動(dòng)小。
關(guān)鍵詞：機(jī)械制造工藝；AZ4903；電磁型平面微電機(jī)；繞組線圈
關(guān)鍵詞：機(jī)械制造工藝；AZ4903；電磁型平面微電機(jī)；繞組線圈
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