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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>也談芯片生產中的“過程能力指數”分析

也談芯片生產中的“過程能力指數”分析

2009-12-19 | rar | 344 | 次下載 | 2積分

資料介紹

也談芯片生產中的“過程能力指數”分析
在芯片的生產過程中,會經歷許多次的摻雜、增層、光刻和熱處理等工藝制程,每一
步都必須達到極其苛刻的物理特性要求。但是,即使是最成熟的工藝制程也存在不同位置之間、不同晶圓之間、不同工藝運行之間以及不同時段之間的變異。有時,這種變異會使工藝制程超出它的制程界限,生產出不符合工藝標準的晶圓,從而嚴重地影響成品率(Yield)。而任何對半導體工業有過些許了解的人都知道:整個工業對其成品率都極其關注。因此,正確地評估和控制芯片生產過程中的變異顯得尤為重要,而研究過程變異的常用方法之一就是過程能力分析。
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