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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>四端硅壓力傳感器輸出電壓的解析模型

四端硅壓力傳感器輸出電壓的解析模型

2011-08-18 | pdf | 126 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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本文用攝動法求解了橫向壓阻效應四端硅壓力傳感器輸出電壓的兩維偏微分方程, 導出了器件的輸出電壓與器件尺寸的關系; 證明了隨應力而變的輸出電壓最大值在器件橫向L / 2 處, 并給出了最大輸出電壓的解析表達式. 這些解析公式得到的計算結果, 都和數值解、實驗數據相符合, 說明了得到的公式具有高的精度. 用所給的解析表達式可以很方便地進行器件設計和模擬.
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