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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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基于GPS/MEMS組合芯片實現(xiàn)高精度定位解決方案
在過去十年中,GPS定位已經(jīng)從主要由專業(yè)人員使用的專用高端技術轉(zhuǎn)變?yōu)橄M者日常使用的一種技術。這種轉(zhuǎn)變是具有GPS功能的兩代器件在大眾化設備中普及GPS...
MEMS陀螺儀在惡劣高溫環(huán)境下提供準確的慣性檢測
ADI公司新開發(fā)了一款集成信號調(diào)理功能的高溫MEMS陀螺儀,即ADXRS645。此傳感器即使在沖擊和振動環(huán)境下也能實現(xiàn)準確的角速率(轉(zhuǎn)速)測量,且額定工...
基于LPC2138微處理器實現(xiàn)機器人手臂控制器的應用方案
近年來,隨著MEMS及相關技術的發(fā)展,微機器人領域已越來越來受人關注。但由于零件的尺寸很小,微機器人組件的裝配需要很高的精確度,一般的裝配方法無法滿足要...
經(jīng)過幾十年的研究與開發(fā),MEMS器件與系統(tǒng)的設計制造工藝逐步成熟,但產(chǎn)業(yè)化、市場化的MEMS器件的種類并不多,還有許多MEMS仍未能大量走出實驗室,充分...
基于PID參數(shù)自整定控制技術實現(xiàn)溫度控制系統(tǒng)的設計
在微電子器件領域,針對SiC器件的研究較多,已經(jīng)取得了較大進展,而在MEMS領域針對SiC器件的研究仍有許多問題亟待解決。在國內(nèi),SiC MEMS的研究...
2021-03-29 標簽:傳感器控制系統(tǒng)mems 4289 0
MEMS存儲設備的請求調(diào)度算法以及數(shù)據(jù)布局策略詳細介紹
MEMS也即微機電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進大家對MEMS的了解程度...
MEMS傳感器即微機電系統(tǒng)(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經(jīng)...
MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的MEMS制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結構單元...
MEMS存儲設備的請求調(diào)度算法及數(shù)據(jù)布局策略的詳細介紹
MEMS也即微機電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進大家對MEMS的了解程度...
MEMS也就是微機電系統(tǒng),對于MEMS系統(tǒng),我們或多或少有所認識。上篇文章中,小編對MEMS存儲設備的請求調(diào)度算法有所介紹。為增進大家對MEMS的了解,...
MEMS技術是目前很多廠家都在使用的先進技術之一,在前兩篇文章中,小編對MEMS存儲設備請求調(diào)度算法以及MEMS存儲設備的故障管理有所介紹。為增進大家對...
任何晶圓的刻蝕都涉及邊緣不連續(xù)性,而且隨著晶圓尺寸提升至300mm,這些問題對良率的影響會更為顯著。
根據(jù)市場調(diào)研機構 Omdia報告指出,英飛凌科技股份有限公司已成功登上 MEMS 麥克風市場的領導地位。根據(jù)報告中MEMS 芯片銷售量顯示,英飛凌的市場...
目前主要的磁傳感技術根據(jù)工作原理的不同,包括霍爾、AMR(各向異性磁阻傳感器)、GMR(巨磁阻)、TMR(隧道磁電阻)、磁通門、磁感應(Magneto ...
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