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微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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mems技術

從物聯網角度去認識MEMS傳感器

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用于MEMS陀螺的PCIe實時測控平臺設計

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2017-12-25 標簽：mems 陀螺儀 pcie 2370 0

最新MEMS傳感器的新特性：不動帶寬測試

對于使用MEMS加速度計和陀螺儀的工業系統，優化帶寬可能是一個重要的考慮因素

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本文將介紹如何使用 LSM6DSV16X 傳感器來讀取數據。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗證設備ID、配置傳感器的數據輸出率和濾波器，以及通過輪詢方式...

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闡述MEMS傳感器芯片的制造過程和原理

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本文將探討如何使用MotionFX庫解析空間坐標。MotionFX庫是一種用于傳感器融合的強大工具，可以將加速度計、陀螺儀和磁力計的數據融合在一起，實現...

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