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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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陀螺儀LSM6DSOW開發(5)----MotionFX庫解析空間坐標
本文將探討如何使用MotionFX庫解析空間坐標。MotionFX庫是一種用于傳感器融合的強大工具,可以將加速度計、陀螺儀和磁力計的數據融合在一起,實現...
利用材料特性進行有利組合,硅、鋁和鈦的氮化物(nitrides)以及碳化硅(siliconcarbide)和其他陶瓷越來越多地應用于MEMS制造中。
進行MEMS制造的最基本需求是能夠沉積1到100微米之間的材料薄膜。NEMS的制造過程是基本一致的,膜沉積的測量范圍從幾納米到一微米。
STI3000動態晶圓級測試系統采用STI的專利技術(DST),通過一個驅動電壓在晶圓上驅動MEMS移動,從而測量由此產生的相關各種特性,是目前全世界最...
封裝的根本目的在于以最小的尺寸和重量、最低的價格和盡可能簡單的結構服務于具有特定功能的一組元器件。封裝必須提供元器件與外部系統的接口。歸納起來,MEMS...
動作捕捉系統的一般性結構主要分為三個部分:數據采集設備、數據傳輸設備、數據處理單元,慣性式動作捕捉系統即是將慣性傳感器應用到數據采集端,數據處理單元通過...
關于卡爾曼這部分內容,一直思考怎么用通俗易懂的方式來按照自己的理解梳理。但是無奈,總是繞不開用數學的方法表達那 5 個關鍵的公式。不論是在B站,還是各個...
光聲效應(photoacousticeffect)在19世紀被發現,它可以將光轉換成聲音。當物質受到周期性強度調制的光照射時,產生聲信號的現象。
在電子產業中,傳感器是相當重要的基礎組件,廣泛應用在航天、軍事、工業、家電、汽車電子、信息及醫療設備等領域,尤其近年隨著物聯網概念的擴散,傳感器的需求量...
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