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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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STHS34PF80高靈敏度紅外感應器(2)----InfraredPD存在感應檢測
InfraredPD 主要作用是通過與 STHS34PF80 紅外傳感器配合,提供對存在感應和運動檢測的支持,同時對傳感器獲取的物體溫度數據進行環境溫度...
本文是關于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內容,分為兩部分,共計212頁PPT內容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類,基本敏感原理介紹,M...
基于電容耦合式MEMS開關的90°分布式MEMS移相器設計與優化
近年來隨著射頻微機械技術的發展,MEMS移相器越來越受到人們廣泛關注,已經成為人們主要研究的MEMS器件之一。與傳統的移相器相比,MEMS移相器多采用半...
MEMS技術是隨著集成電路,尤其是超大規模集成電路發展起來的一門新技術,經過幾代科學家的努力,MEMS如今在不同的行業和不同的領域相繼規模化生產,展現了...
通常情況,氣體檢測模塊工作在室溫(最大溫度為60℃)。而Micro-Hybrid氣體檢測模塊的最高工作溫度可達180℃,可以用于高溫、高濕環境下測量氣體...
作為數據計算,處理與傳導的核心,傳感器的作用可以說是舉足輕重,而隨著電子系統的發展日趨集成化,MEMS(微機電系統)也開始在各個領域嶄露頭角,除了消費類...
該壓電MEMS超聲換能器由兩部分組成:Mo/AIN/Mo壓電層和刻蝕有空腔的SOI襯底。其工作原理是當電場為交變電場時,壓電層做周期性地拉伸與收縮,從而...
傳感器行業的一個特點是,傳感器本身技術含量高,但單只傳感器的價格一般不高。此特點導致的一個結果是,盡管傳感器的技術附加值高,但單純依賴傳感器很難形成可...
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(3)----讀取融合算法輸出的四元數
LSM6DSV16X 特性涉及到的是一種低功耗的傳感器融合算法(Sensor Fusion Low Power, SFLP). 低功耗傳感器融合(SF...
Blast Motion的高精度運動傳感器產品Blast Baseball介紹
Blast Motion的高精度運動傳感器重量不足1盎司,且防塵、防震、防水,可貼在任何一種棒球桿的末端。在比賽過程中,Bluetooth? 智能無線通...
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