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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS的相關(guān)術(shù)語及MEMS芯片制造過程
ALD是Atomic Layer Deposition(原子層沉積)的縮寫,是通過重復(fù)進(jìn)行材料供應(yīng)(前體)和排氣,利用與基板之間的表面反應(yīng),分步逐層沉積...
激光投影儀將移動的光轉(zhuǎn)換為更高級別的信息,用于實際用途,如標(biāo)志、圖形和視頻。信息本身可以以矢量圖形激光投影(VGLP)模式或光柵模式呈現(xiàn),而MEMS鏡的...
2024-01-05 標(biāo)簽:mems微機(jī)電系統(tǒng)反射鏡 1751 0
MEMS麥克風(fēng)重塑音頻領(lǐng)域,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型
多年前,MEMS麥克風(fēng)的興起重塑了音頻領(lǐng)域。法國著名市場研究公司Yole堅信,未來幾年,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型。
2020-03-15 標(biāo)簽:mems人工智能MEMS麥克風(fēng) 1729 0
Evonetix提出的專有方法是開發(fā)一個將物理學(xué)和生物學(xué)相結(jié)合的平臺,在芯片表面成千上萬個獨(dú)立控制的微型反應(yīng)位點(diǎn)調(diào)節(jié)DNA的合成。
膜厚測試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要,它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量,更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì),精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
其中,m表示干涉級次,L2表示真空腔腔長,n2表示真空腔折射率,L1表示硅腔腔長,n2表示硅腔折射率。
? 姿態(tài)估計的作用? 姿態(tài)估計是飛控算法的一個基礎(chǔ)部分,而且十分重要。為了完成飛行器平穩(wěn)的姿態(tài)控制,首先需要精準(zhǔn)的姿態(tài)數(shù)據(jù)作為 控制器的反饋 。 ? 飛...
驅(qū)動LSM6DS3TR-C實現(xiàn)高效運(yùn)動檢測與數(shù)據(jù)采集(2)----配置濾波器
在LSM6DS3TR-C中,加速度計和陀螺儀可以獨(dú)立地開啟/關(guān)閉,并且可以擁有不同的ODR和功耗模式。 LSM6DS3TR-C有三種可用的操作模式: ...
液位測量系統(tǒng)使用補(bǔ)償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計是液位測量和控制系列中的首個。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強(qiáng)調(diào)了微機(jī)電(MEMS)溫度補(bǔ)償硅壓力傳感器的最新進(jìn)展的好處。這...
加速度計能夠測量加速度、傾斜度、振動或沖擊,因此,可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能都有很大的跨度。本...
據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,來自南京理工大學(xué)的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結(jié)了體微加工技術(shù)和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
面向人體運(yùn)動感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機(jī)械柔性等獨(dú)特優(yōu)勢,被認(rèn)為是一種極具潛力的智能材料。
如何為無線狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)選擇最佳MEMS傳感器
有數(shù)以百萬計的電動機(jī)在連續(xù)運(yùn)行,消耗全球約45%的電力。1其中大多數(shù)關(guān)鍵電機(jī)可能由有線CbM系統(tǒng)監(jiān)控。根據(jù)一項研究,82% 的受訪公司經(jīng)歷過計劃外維護(hù),...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(6)----獲取磁力計數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
三軸加速度計LIS2DW12開發(fā)(1)----輪詢獲取加速度數(shù)據(jù)
本文將介紹如何驅(qū)動和利用LIS2DW12傳感器,實現(xiàn)精確的運(yùn)動感應(yīng)功能。
微機(jī)電系統(tǒng)因其巨大的能力和良好的品質(zhì)而經(jīng)常用于T/R模塊,特別是用于空間模塊化應(yīng)用。將MEMS技術(shù)用于射頻應(yīng)用可以制成高性能和低成本的集成元件,如可變電...
我們曾在之前發(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計》中指出, MEMS麥克風(fēng)的需求是由客戶所要求的音頻功能驅(qū)動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
氣壓計LPS25HB開發(fā)(1)----輪詢獲取氣壓計數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LPS25HB 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
2024-05-17 標(biāo)簽:mems氣壓計stm32cubemx 1634 0
e2studio開發(fā)三軸加速度計LIS2DW12(3)----檢測活動和靜止?fàn)顟B(tài)
本文將介紹實時獲取和處理加速度數(shù)據(jù)。程序的核心流程包括初始化硬件接口、配置加速度計的參數(shù),以及通過輪詢檢查中斷信號來不斷讀取加速度數(shù)據(jù)。
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