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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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三軸加速度計LIS2DW12開發(3)----檢測活動和靜止狀態
檢測活動和靜止狀態主要用途是在嵌入式應用中實時監控加速度計的活動狀態,例如在可穿戴設備、智能手機或安全系統中檢測用戶的動作或設備的位置變化。通過設置不同...
把多個功用不一樣的傳感元件集成在一起,除可一起進行多種參數的丈量外,還可對這些參數的丈量成果進行歸納處理和評估,可反映出被測體系的全體狀況。由上還能夠...
MEMS也即微機電系統,電子專業的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進大家對MEMS的了解程度...
任何晶圓的刻蝕都涉及邊緣不連續性,而且隨著晶圓尺寸提升至300mm,這些問題對良率的影響會更為顯著。
使用 MEMS 加速計快速部署傳感器,實現基于 IIoT 的預測性維護
作者:Richard A. Quinnell 使用振動傳感器對機器進行狀態監測,這是工業物聯網 (IIoT)(或工業4.0)預測性維護目標的關鍵要素。這...
車輛安全問題一直是一個待改進的問題,整個車輛需要向著更安全、更清潔和更經濟的方向發展,這個是在電控車身系統、動力總成系統、輔助駕駛系統以及車載信息系統等...
微機械式慣性傳感器已經成為許多消費產品的一個組成部分,比如手持式移動終端、照相機和游戲控制器等。此外,微機械式慣性傳感器還被廣泛用于工業、汽車安全和穩定...
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