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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS傳感器即微機電系統(Microelectro Mechanical Systems),是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經...
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(4)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱為電荷變化檢測(Qvar stands for "Quasi-static VARiation"),是一種用于檢測電荷...
本文論述如何在個人導航儀內利用MEMS壓力傳感器輔助GPS接收器測量海拔高度。本文第一部分概述大氣壓與海拔高度的關系。第二部門描述如何使用壓力傳感器計算...
光線傳感器和距離傳感器一般都是放在一起,位于手機屏幕聽筒周圍。這樣就存在一個問題,手機屏幕上方開太多洞或黑色長條不太好看,各大手機廠商都一直在想方設法減...
MEMS時鐘器件正全面收復石英市占。高舉“全硅時鐘技術”大旗的全硅MEMS時鐘廠商SiTime公司近期再祭殺手锏,迅速插旗智能手機/平板電腦及高端FPG...
北京大學在壓電MEMS領域取得重要進展:讓一塊壓電陶瓷實現了兩個馬達的驅動功能!
近日,北京大學董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領域獨辟蹊徑:發明了一種壓電馬達,只需一個壓電陶瓷,就可產生兩個對稱驅動和實現兩個對稱運動輸出功能。而傳統上...
近年來,微機電系統(MEMS)技術為生產不同用途的流量傳感器提供了廣闊的機會。MEMS是在對硅和鍺壓阻能力進行研究之后于1960年代首次提出的。
物聯網 (IoT) 芯片主要包括傳感器芯片、嵌人式處理芯片、無線傳輸鏈接芯片等。IoT 芯片的性能/功能測試評價至關重要,已成為物聯網發展不可或缺的一環...
使用MEMS加速度計和自適應參考捕獲車載DVR系統中的真實加速度數據
現代車載數字視頻記錄系統 (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(g 傳感器)來測量車載加速度。這允許DVR在發生預定義事件(例如急剎車或碰撞)時,使...
MEMS產業發展十分迅速,但是人們常常忽視對其的早期測試。乍一看來,MEMS器件和傳統IC器件的制造十分相似,但是,由于MEMS器件具有額外的機械部分(...
2016-11-05 標簽:mems 1572 0
實時時鐘 (RTC) 不斷發展,通過變得更小、更準確來跟上其使用和應用的變化。這種演變和適應背后的主要驅動力是一種新的諧振器技術——微機電系統(MEMS...
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