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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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其實,我們身邊不乏這樣的“黃金芯片”,ADI 發布的 RF MEMS 開關再次將黃金的優良金屬性能在芯片中的應用發揮到極致。我們不妨來看看這些黃金造的芯...
許多應用需要能在125℃以上環境下工作的信號處理解決方案,但對于采用標準設計的集成電路其最高工作溫度通常僅規定為125℃。無論是在地下一英里處操縱油鉆還...
電子束蒸鍍利用電磁場的配合可以精準地實現利用高能電子轟擊坩堝內膜材,使膜材表面原子蒸發進而沉積在基片上;以FATRI UTC電子束蒸鍍機在MEMS制造過...
MEMS的全稱是微型電子機械系統(Micro-ElectroMechanical System),相對于傳統的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米...
慣性MEMS三維集成TSV互連技術通過提供垂直貫穿慣性MEMS芯片或MEMS專用集成電路IC芯片的TSV互連為兩者層疊式立體化集成提供了便利。
當BLE遇到MEMS,就如同天使有了翅膀。本期從有淺入深的介紹BLE與MEMS的那些事,就從ST的STEVA
使用的紅外光源EMIRS 50是通過緊湊的TO-46封裝,它可以提供帶保護帽或者帶反射面,這些結構可以配置藍寶石或氟化鈣、氟化鋇和鍺等材料的濾光片。
微流控(microfluidics)是一種精確控制和操控微尺度流體, 以在微納米尺度空間中對流體進行操控為主要特征的科學技術,具有將生物、化學等實驗室的...
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