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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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在某種程度上, MEMS 可以看作CMOS集成電路的擴展。如果將CMOS比喻為人的大腦和神經網絡,那么MEMS就是大腦智慧的手臂,為這信息系統提供了獲取...
MEMS封裝屬于后道工藝,成本往往占到整個MEMS元件的70~80%。與生產環節相比,封裝環節水平更能決定 MEMS 產品的競爭力。原因是:1)MEMS...
MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的 MEMS 制造工藝。表面微加工中,采用低壓化學氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結構...
2011-11-01 標簽:MEMS 1.2萬 0
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫,即微電子機械系統。微電子機械系統(MEMS)技術是建立在微米/納米...
模擬半導體公司SiTime Corporation今天推出業界性能最強的差分振蕩器,其頻率穩定度達10PPM、相位抖動僅500飛秒(femtosecon...
研究報告稱中國政府抑制經濟增長和控制通脹的行動,將導致中國2011年MEMS購買活動放緩。 今年中國政府在經濟政策方面變得更加謹慎。鑒于全球經濟增長速度...
2011-10-24 標簽:MEMS 862 0
半導體技術在摩爾定律上似乎走入了瓶頸期,而超越摩爾定律的新興技術卻受到了眾多公司的青睞,其中 MEMS 以無處不在的應用潛力攫取了業界大大小小公司的眼球...
意法半導體率先將硅通孔技術(TSV)引入MEMS芯片量產。在意法半導體的多片MEMS產品(如智能傳感器、多軸慣性模塊)內,硅通孔技術以垂直短線方式取代傳...
ST-Ericsson 稍早前宣布推出一款 Snowball 開發板,整合該公司的 Nova A9500 雙核心應用處理器、MEMS元件(3D陀螺儀、加...
2011-10-04 標簽:MEMSST-EricssonSnowball 1213 0
市場研究機構 ABI Research 預測,全球智能手機與平板裝置用 MEMS傳感器與音頻組件市場,將在 2016年達到15億美元規模。
“上海先進”(ASMC/上海先進半導體制造股份有限公司)在MEMS(微機電系統)代工領域取得重大進展,在打造國內MEMS工藝生產平臺的同時首條MEMS工...
2011-09-27 標簽:MEMS 1230 0
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