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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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MEMS,什么是MEMS MEMS(Micro Electromechanical System,即微電子機械系統)是指集微型傳感器、執行器以及信號處...
2010-03-20 標簽:MEMS 1225 0
MEMS光開關的優勢有發展動態簡介 摘要 本文介紹了基于MEMS(微電子機械系統)技術的光開關的技術優勢及主要制造商情況,并概要分
MEMS產業預強勢發展 2008年,TSMC宣布開始進入MEMS代工。一石激起千層浪,MEMS頓時成為半導體代工行業的明星。2009年Q1,SMI...
2010-03-17 標簽:MEMS 555 0
CAD工具提供MEMS專用設計功能介紹 在過去幾年,MEMS和微機械化設計與生產更多地是發生在大學實驗室里的研究活動,而
2010-03-11 標簽:MEMS 1749 0
采用PC的IC工具降低MEMS設計方法 鑒于MEMS工藝源自光刻微電子工藝,所以人們很自然會考慮用IC設計工具來...
2010-03-11 標簽:MEMS 550 0
創建靈敏的MEMS結構的工藝技術介紹 表面微加工技術可用于創建微機電傳感器及激勵器系統,它能夠通過高適應度的彈性,形成錨
2010-03-11 標簽:MEMS 750 0
2009年MEMS慣性傳感器現狀及2010年趨勢 MEMS技術最早由Richard Pfeynman(1965年獲得諾貝爾物理獎),在1959年提出...
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封裝的
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封裝的新型MEMS陀螺儀:SD70X SensorDynamics新推出用于高端工業、醫療和消費...
“MEMS的應用與機遇”研討會探索MEMS廣闊市場 MEMS是多學科交叉融合的前沿技術,是未來的主導產業之一。MEMS以其微型化的優勢,在消費電子、...
ST推出MEMS加速計產品 意法半導體發布新系列三軸數字加速計的產品細節。新產品擁有市場上最小的占板面積、大幅降低的電流消耗和增強的功能。 意法半導體在
ST推出MEMS數字羅盤模塊 意法半導體在單一模塊內集成一個3軸數字加速計和一個3軸數字磁感應計,這款數字羅盤模塊兼備高精度、小尺寸、低功耗、具有競爭力的價格
市場分析:MEMS封裝朝向晶圓級發展 傳統的MEMS長期依賴陶瓷封裝,雖然行之有效,但MEMS產業已經醞釀向晶圓級封裝(WLP)技術轉變,而這一轉變的...
用于供電無線感應器節點MEMS設備研制成功 Holst Centre,一家專注為無線自治傳感器方案開發共用性技術的研發機構,已經開發一套新能量收集應...
2009-12-28 標簽:MEMS 582 0
基于MEMS的硅微壓阻式加速度傳感器的設計 硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個重要分支,具有十分廣闊的應用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應快、靈敏度高
ST創新的MEMS麥克風 意法半導體(ST)擴大產品陣容,推出新一代微加工音響器件:創新的MEMS麥克風。新產品采用歐姆龍3的傳感器技術,針對手機以及...
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