去年4月，中芯國際向荷蘭ASML公司訂購了一臺EUV光刻機，用于研究7nm及以下的先進工藝。花費超過1.2億歐元（約10億人民幣），預計今年底交貨，2020年正式安裝。來自日經新聞消息稱，因為受到美國政府關切，ASML將延后對中國晶圓代工企業中芯國際出貨。

對此ASML與中芯國際均對此表示否定。

11月7日下午，ASML向《科創板日報》獨家回應稱，對于日經新聞報道的關于交貨時程僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認，對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述，表示抗議。

ASML相關負責人強調：“實際上在我們第三季度財報中，就已經將相關情況進行說明，根據瓦圣納協議（Wassenaar Arrangement），ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可于今年到期，ASML已經于到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核準。因此，關于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的，ASML系遵循法規行事，并一視同仁地服務我們全球客戶?！?/p>

對于何時能拿到許可證，ASML相關負責人表示，目前處于正常的流程狀態中，尚未掌握確切的時間。

中芯國際也進行回應：“極紫外光（EUV）還在紙面工作階段，未進行相關活動。公司先進工藝研發進展順利。目前，研發與生產的連結一切正常，客戶與設備導入正常運作?！?/p>

ASML是全球EUV光刻機的唯一供應商，并且是全球市值最高的芯片設備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 （約 92 億美元） 左右。其中16%來自英特爾和美光等美國公司，19%來自中國。據了解，臺積電、三星已于2019年導入量產最先端產品的EUV設備，且蘋果預計2020年下半開賣的新型iPhone預估就會搭載采用該技術的CPU。

中芯國際是我國最大的半導體制造公司，今年14nm制程已經實現量產，追平臺聯電14nm制程工藝，如果未能準時拿到最先進光刻機設備，或影響趕超臺積電的日程表。

目前臺積電臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺，不過量產的7nm制程仍是基于DUV（深紫外）工藝，今年3月份才啟動7nm EUV的量產。而三星在去年就小規模投產了7nm EUV。

不過，業內人士透露，這批設備仍預計將在 2019 年底前出貨，并且在 2020 年底前完成裝機。
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