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一種秒級響應的新型聲表面波氫敏器件

MEMS ? 來源:MEMS ? 2019-11-30 07:32 ? 次閱讀

作為一種新興能源載體和化工原料,氫氣具有來源廣泛、清潔環保、可循環利用等一系列優點,對推進節能減排、調整能源產業結構和應對全球氣候變化有重要意義。但是氫氣易燃易爆的本質特點使得快速與高靈敏的氫敏技術在氫氣開發利用中的安全防護扮演著極為重要的角色。現有技術在功耗、體積、響應速度及靈敏度等方面均面臨瓶頸,難以滿足實際應用需求。

為應對這一難題,中國科學院聲學研究所王文團隊與南開大學楊大馳團隊合作,將微納聲表面波器件技術與快速響應的鈀銅納米線氫敏材料相結合,提出并研制了一種秒級響應的新型聲表面波氫敏器件。納米線形態的鈀銅氫敏材料具有極高的吸附面積,由此大幅增加了氫敏效率,從而提高傳感器響應速度與靈敏度。

相關研究成果在線發表于學術期刊Sensors and Actuator B。

研究人員利用電化學沉積方法合成的鈀銅納米線(圖1)滴涂制備于傳感器件表面聲表面波傳播路徑表面,構建出了小尺度聲表面波氫敏器件(圖2)。結合差分振蕩結構的傳感電路,對所研制的聲表面波氫敏器件進行了測試評價,相對于國內外已報道氫敏元件,傳感器實現了快速的傳感響應(<4s),此外還具有低檢測限(7ppm)、良好選擇性和重復性的特點,其靈敏度達1.5kHz/%,在氫能應用中具有很好的應用前景。

圖1 鈀銅納米線的制備流程及表征

圖2 沉積鈀銅納米線的聲表面波氫敏器件

聲明:本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內容侵權或者其他違規問題,請聯系本站處理。 舉報投訴
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原文標題:聲學所研究出新型聲表面波快速氫氣傳感技術

文章出處:【微信號:MEMSensor,微信公眾號:MEMS】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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