中芯國際表示深圳工廠進口光刻機不是EUV光刻機
IT之家3月6日消息 據中國證券報報道，3月6日下午從中芯國際獲悉，日前中芯國際深圳工廠從荷蘭進口了一臺大型光刻機，但這是設備正常導入，用于產能擴充，并非外界所稱的EUV光刻機。
IT之家今天早些時候報道，3月4日早上8點不到，中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司從從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區場站兩道閘口進入廠區，這臺機器主要用于企業復工復產后的生產線擴容。
據IT之家獲悉，EUV光刻機主要用于7nm及以下制程。中芯國際目前量產的最先進制程為第一代FinFET 14nm，已貢獻2019年第四季度1%營收。
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