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傳統(tǒng)的超聲波傳感器采用高輸出功率的塊體壓電陶瓷材料

lhl545545 ? 來源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2020-06-17 10:21 ? 次閱讀

隨著商用機(jī)器人、智能居家及便攜式設(shè)備的不斷發(fā)展和廣泛應(yīng)用,雷達(dá)測(cè)距、紅外測(cè)距、激光測(cè)距、超聲波測(cè)距等測(cè)距技術(shù)成為保證精確定位的關(guān)鍵。與其他測(cè)距方法相比,超聲波測(cè)距不受目標(biāo)物體透明度和顏色的影響,對(duì)環(huán)境噪聲不敏感,可在陽光直射下使用。此外,由于聲波速度較低,基于超聲波換能器的測(cè)距技術(shù)減輕了射頻和光測(cè)距對(duì)高速電子的要求,同時(shí)超聲波測(cè)距具有低功耗的特點(diǎn),這使得超聲波測(cè)距在小于一米的近距離測(cè)距中,成為極具競(jìng)爭(zhēng)力的選擇。

茂丞科技芯片級(jí)超聲波傳感器-JMS系列

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,茂丞科技(J-Metrics)近日發(fā)布了中國首款自主研發(fā)的芯片級(jí)超聲波傳感器產(chǎn)品——JMS系列,為國內(nèi)傳感器領(lǐng)域填補(bǔ)了這一空白。JMS系列芯片級(jí)超聲波傳感器基于氮化鋁(AlN)材料制造,氮化鋁(AlN)具有良好的壓電效應(yīng),較低的介電常數(shù)使其在較小體積的設(shè)計(jì)下,能獲得與塊體壓電陶瓷材料(PZT)相當(dāng)?shù)男阅堋鹘y(tǒng)的超聲波傳感器采用高輸出功率的塊體壓電陶瓷材料(PZT),聲場(chǎng)與聲阻抗的不匹配導(dǎo)致電場(chǎng)與聲場(chǎng)之間的轉(zhuǎn)換效率較差。此外,其體積大、功耗高也限制了其在便攜式設(shè)備中的使用。

傳統(tǒng)的超聲波傳感器采用高輸出功率的塊體壓電陶瓷材料

JMS芯片級(jí)超聲波傳感器實(shí)現(xiàn)距離感測(cè)示意圖

JMS芯片級(jí)超聲波傳感器采用飛行時(shí)間(ToF)測(cè)量原理,能夠?qū)崿F(xiàn)毫米級(jí)精準(zhǔn)距離感測(cè),該傳感器主要由四個(gè)部分組成:電荷泵電路(CP)、數(shù)字單元電路(DU)、發(fā)射電路(TX)和接收電路(RX)。CP將升高1.8V到5V和32V分別驅(qū)動(dòng)數(shù)字單元電路(DU)和電壓位移(LSF)。振蕩器(OSC)將產(chǎn)生1.73 MHz的系統(tǒng)時(shí)鐘(System OSC)和90 KHz的驅(qū)動(dòng)時(shí)鐘(TX OSC)。電壓位移(LSF)將驅(qū)動(dòng)時(shí)鐘(TX OSC)的電壓提高到32V,再由TX驅(qū)動(dòng)器放大對(duì)JMS芯片級(jí)超聲波傳感器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。JMS芯片級(jí)超聲波傳感器將驅(qū)動(dòng)信號(hào)轉(zhuǎn)換為超聲聲波,超聲波以120°度的角度傳播至空氣中,飛行至待測(cè)物并反射回來時(shí),接收電路(RX)接收到反射超聲波信號(hào),對(duì)接收到的回波信號(hào)進(jìn)行放大和檢測(cè),并將其發(fā)送到數(shù)字單元電路(DU)。在不考慮濕度和大氣壓的情況下,25℃時(shí)空氣中的聲速是346 m/s,系統(tǒng)OSC的頻率被設(shè)計(jì)成1.73 MHz,所以一個(gè)周期的最小距離分辨率為0.1 mm(Lmin=c/2fsys=0.1 mm),其中c為傳播介質(zhì)中的聲速。分母中的系數(shù)為2是因?yàn)槌暡ㄔ谙嗤木嚯x內(nèi)來回傳播。最后,目標(biāo)的估計(jì)距離為L(zhǎng)=nclk x 0.1 mm。

傳統(tǒng)的超聲波傳感器采用高輸出功率的塊體壓電陶瓷材料

JMS芯片級(jí)超聲波傳感器距離誤差實(shí)驗(yàn)結(jié)果

JMS芯片級(jí)超聲波傳感器實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖四所示,由于茂丞科技采用了更先進(jìn)的設(shè)計(jì)與制造工藝,使得測(cè)距系統(tǒng)具有更高的精準(zhǔn)度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,10 cm ~ 50 cm測(cè)距精度為0.8 mm,精準(zhǔn)度優(yōu)于現(xiàn)有的測(cè)距儀。

JMS產(chǎn)品型號(hào)與技術(shù)規(guī)格

茂丞科技總經(jīng)理邱奕翔表示,JMS芯片級(jí)超聲波傳感器擁有毫米級(jí)高精準(zhǔn)距離感測(cè)、低功率消耗以及微小體積等優(yōu)勢(shì),封裝尺寸僅為5.2 mm x 5.2 mm x 1.05 mm。JMS系列產(chǎn)品現(xiàn)已開始銷售,可提供客戶JMS601、JMS602、JMS603三種產(chǎn)品型號(hào),最大感測(cè)范圍分別為10 cm、50 cm和100 cm,以滿足客戶在不同應(yīng)用條件的需求。同時(shí),茂丞科技可提供客戶專業(yè)的超聲波技術(shù)支持以協(xié)助客戶進(jìn)行產(chǎn)品導(dǎo)入,解決客戶在產(chǎn)品應(yīng)用上遇到的技術(shù)問題。例如,在掃地機(jī)器人應(yīng)用中,JMS芯片能夠更準(zhǔn)確地判斷掃地機(jī)器人是否位于毛毯之上,近距離偵測(cè)墻邊距離時(shí)不受踢腳板顏色深淺干擾,同時(shí)JMS芯片的微小體積也更有助于客戶產(chǎn)品的硬件布局。

除此之外,JMS芯片級(jí)超聲波傳感器還可以應(yīng)用于智能家居、機(jī)器人、無人機(jī)、商用顯示、手勢(shì)識(shí)別以及氣體流量等應(yīng)用。茂丞科技實(shí)現(xiàn)芯片級(jí)超聲波傳感器的國產(chǎn)化,意味著能更實(shí)時(shí)快速度的為客戶提供全方位的服務(wù)。

茂丞科技簡(jiǎn)介:

茂丞科技(J-Metrics)位于中國科技創(chuàng)新之都——深圳,在科技創(chuàng)新上,茂丞科技擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),至今已取得三件中國臺(tái)灣發(fā)明專利(發(fā)明第I661493號(hào)、發(fā)明第I675498號(hào)、發(fā)明第I692888號(hào)),以及一件美國發(fā)明專利(US 10,657,349)。

從專利布局也可管窺茂丞科技未來的技術(shù)發(fā)展路徑:茂丞科技預(yù)計(jì)將在今年下半年以晶圓級(jí)封裝技術(shù),發(fā)布2 mm x 2 mm x 0.9 mm全球最小封裝體積的芯片級(jí)超聲波傳感器,以實(shí)現(xiàn)智能眼鏡、耳機(jī)、智能手表等可穿戴設(shè)備,以及隔空觸控和手勢(shì)識(shí)別等功能,繼續(xù)朝全球第一邁進(jìn),為中國智造盡一已之力。

茂丞科技成立于2008年,依據(jù)生物識(shí)別市場(chǎng)需求及前瞻性考慮,以微小化、節(jié)能、功能精細(xì)敏銳及便利使用為原則,致力于以芯片級(jí)超聲波傳感器為基礎(chǔ)來完成距離偵測(cè)、手勢(shì)識(shí)別 、指紋識(shí)別等相關(guān)應(yīng)用的開發(fā)。
責(zé)任編輯:pj

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