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重大突破!中國研發高能離子注入機性能已達國際先進水平

如意 ? 來源:百家號 ? 作者: 半導體芯情 ? 2020-06-28 11:36 ? 次閱讀

據業內人士透露,中國知名電子企業中國電子科技集團有限公司近日取得重大技術突破,其自主研發的高能離子注入機已成功實現百萬電子伏特高能離子加速,其性能達國際主流先進水平。

據悉,目前國內僅有少數幾家擁有自主研發離子注入機器的集團或企業,中國電科有中科院背景,實力超級強大。

據筆者了解到,離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。

作為芯片生產過程中不可或缺的設備,離子注入機很貴,切大部分依賴進口,如今的極技術突破具有非凡的意義。中國電科旗下電科裝備離子注入機總監張叢表示,電科裝備將在年底前推出首臺高能離子注入機,實現中國芯片制造領域全系列離子注入機自主創新發展,并將為全球芯片制造企業提供離子注入機成套解決方案。

作為電子產業的重要機構,中國電科總是能承擔重任,如北斗相關芯片研發也有它的身影。中電科通信子集團54所和國基北方子集團13所承擔天通一號移動通信系統終端核心芯片組的技術攻關和產品研制工作。高性能的終端芯片組是制約衛星通信系統建設、行業應用和產業化的主要因素。“我們基于自研,集成設計了基帶、射頻和功放核心芯片,擴展了功能,形成了包括硬件、平臺、驅動、應用等在內的完整的終端解決方案。”本次技術突破,再次增強中國芯片研發和崛起的信心。

據悉,中國電子科技集團有限公司成立于2002年3月1日,成立18年多,是以原信息產業部直屬電子研究院所和高科技企業為基礎、組建而成的國有大型企業集團,也是國家批準的國有資產授權投資機構之一,由國務院國有資產監督管理委員會直接監管。主要從事國家重要軍民用大型電子信息系統的工程建設,重大裝備、通信與電子設備、軟件和關鍵元器件的研究。

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