9月28日晚間，晶瑞股份發布公告稱，將開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目。為此，晶瑞股份擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國SK Hynix的ASML光刻機設備，總價款為1102.5萬美元（折合7508萬人民幣）。消息一出，公司股價開盤后快速拉至漲停，公司市值當天也暴增13.39億元。

值得一提的是，晶瑞股份此次擬購買的光刻機并非市場可生產5nm、7nm芯片的先進EUV光刻機，且后續仍存交貨等不確定性因素。

中證報報道，晶瑞股份方面人士表示，現在光刻機設備并不好買，公司并不是直接購買ASML的光刻機設備，而是通過代理商購買存儲器芯片廠商SK海力士的一臺ASML二手光刻機設備。

據透露，其購買的光刻機類型是ASML的1900型號的光刻機。根據公開報道，ASML的1900型號浸沒式光刻機在2007年7月量產發貨，可以助力客戶將芯片量產制造能力擴展到36.5nm節點。

為促成本次采購，晶瑞于2020年9月8日通過代理商Singtest Technology PTE.LTD.向SK Hynix報價，于2020年9月24日確定中標。

本次合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發項目關鍵設備的技術先進性和設備如期到位并投產，對加快項目進度有積極影響，也有利于進一步提升其在光刻膠產品的核心競爭力。

資料顯示，晶瑞股份圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個方向，主導產品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎化工材料等，廣泛應用于半導體、鋰電池、LED、平板顯示和光伏太陽能電池等行業，具體應用到下游電子產品生產過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜等工藝環節。全資子公司蘇州瑞紅是國內光刻膠龍頭，1993年便開始光刻膠的生產。

至于為什么購買SK海力士的ASML的光刻機，可能是二手的ASML光刻機性價比比較高吧。

值得注意的是，9月29日，晶瑞股份發布可轉債預案稱，本次擬向不特定對象發行可轉換公司債券募集資金總額不超過55,000.00萬元（含55,000萬元），扣除發行費用后的募集資金凈額用于以下項目：

據披露，集成電路制造用高端光刻膠研發項目為由公司牽頭發起的超大規模集成電路用高端光刻膠技術攻關及產業化工程的攻關任務之一，旨在通過自主研發，打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設，滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實現批量生產ArFImmersion光刻膠的成套技術體系并完成產品定型，技術指標和工藝性能滿足45～14nm集成電路技術和生產工藝要求。

陽恒化工年產9萬噸超大規模集成電路用半導體級高純硫酸技改項目為江蘇陽恒化工有限公司在原廠址區域內，在不增加硫酸總產能和排污總量及污染因子的前提下，通過引進技術裝備對原基礎化工產品工業用硫酸生產裝置進行改造提升，生產部分半導體級高純硫酸，實現技術改造標準達到國際先進水平，安全、環保、投入產出水平高于原項目水平。本次可轉債發行用于本項目第一期投資，第一期產能為30000噸/年。

此外，晶瑞股份擬將募集資金中的16,500.00萬元用于補充流動資金或償還銀行貸款，以滿足公司日常運作資金需要。近年來伴隨著公司主營業務的逐步發展，以及募集資金投資項目的建設實施，預計未來幾年公司規模將保持一定增長，將需要籌集更多資金來滿足流動資金需求。

晶瑞股份表示，本次募集資金投資項目符合國家相關的產業政策以及未來公司整體戰略發展方向，對振興國內半導體材料產業，促進產品升級換代具有重要意義，為公司進一步提升自身競爭優勢、強化市場地位奠定基礎。本次募集資金的運用合理、可行，符合發行人及全體股東的利益。

責任編輯：YYX