中科院5nm激光光刻加工方法被誤讀
近日，《財經》雜志發文澄清了一個關于中科院光刻技術突破ASML的誤讀傳言。
事情可以追溯至今年7月，中國科學院官網上發布了一則研究進展相關消息，中科院蘇州所聯合國家納米中心在《納米快報》（Nano Letters）上發表了一篇題為《超分辨率激光光刻技術制備5納米間隙電極和陣列》（5 nm Nano gap Electrodes and Arrays by a Super－resolution Laser Lithography）的研究論文，介紹了該團隊研發的「新型5nm超高精度激光光刻加工方法」。
截圖自ACS官網
這一消息被一些媒體誤讀為可以「突破ASML的壟斷」、「中國芯取得重大進展」，「中國不需要EUV光刻機就能制作出5nm工藝的芯片」。
日前，這一論文的通訊作者、中科院研究員、博士生導師劉前告訴《財經》雜志，稱這是一個誤讀，中科院這一技術與極紫外光刻技術是兩回事。
極紫外光刻技術是以波長為10－14nm的極紫外光作為光源的光刻技術。
而中科院研發的「5nm超高精度激光光刻加工方法」的主要用途是制作光掩模，目前，國內制作的掩模板主要是中低端的，裝備材料和技術大多來自國外。
責任編輯：haq
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
光刻機
+關注
關注
31文章
1163瀏覽量
48090 -
ASML
+關注
關注
7文章
723瀏覽量
42101
發布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
清華大學在激光干涉光刻全局對準領域取得新進展
圖1.拼接曝光加工系統 衍射光柵廣泛應用于精密測量、激光脈沖壓縮、光譜分析等領域。干涉光刻作為一種無掩膜曝光光刻方法，在衍射光柵
中科曙光助力中科院高能物理研究所打造溪悟大模型
近年來，以大規模預訓練模型為代表的人工智能技術迅猛發展，為科研創新提供了全新范式。中科院高能物理研究所依托正負電子對撞機等大科學裝置，積累了海量高價值實驗數據，如何高效利用數據、加速成果產出，成為研究所面臨的核心課題。
光刻圖形轉化軟件免費試用
光刻圖形轉化軟件可以將gds格式或者gerber格式等半導體通用格式的圖紙轉換成如bmp或者tiff格式進行掩模版加工制造，在掩膜加工領域或者無掩膜光刻領域不可或缺，在業內也被稱為矢量
發表于 05-02 12:42
請問激光投影中激光光源能否像LED一樣瞬時開關？
這種先合光再分光的設計方案既使系統變得復雜，又使得光能利用率較低。
請問目前采用三基色激光投影顯示的光學系統設計方案都是這樣嗎？激光光源能否實現類似于下圖LED這樣的設計？激光器能否像LED一樣瞬時開關？
發表于 02-28 07:11
DLP9500UV在355nm納秒激光器應用的損傷閾值是多少？
DLP9500UV在355nm納秒激光器應用的損傷閾值是多少，480mW/cm2能否使用，有沒有在355nm下的客戶應用案例？
這個是激光器的參數：355
發表于 02-20 08:42
消息稱臺積電3nm、5nm和CoWoS工藝漲價，即日起效！
）計劃從2025年1月起對3nm、5nm先進制程和CoWoS封裝工藝進行價格調整。 先進制程2025年喊漲，最高漲幅20% 其中，對3nm、5nm等先進制程技術訂單漲價，漲幅在3%到8
使用英特爾開發板控制空間光相位調制器進行激光光斑質量優化
隨著激光器的發展，激光在光通信、光學檢測、光學加工等領域起著越來越重要的作用。激光光斑質量是激光系統性能的重要指標，直接影響其在科學研究、工
臺積電產能爆棚：3nm與5nm工藝供不應求
臺積電近期成為了高性能芯片代工領域的明星企業，其產能被各大科技巨頭瘋搶。據最新消息，臺積電的3nm和5nm工藝產能利用率均達到了極高水平，其中3nm將達到100%，而
華光光電:打通激光產業鏈,勇攀技術高峰
在山東華光光電子股份有限公司的生產線上，記者見證了一條完整的激光產業上游鏈條。從根據功率需求選擇不同熱沉材料，到在反應爐中生長出薄薄的外延材料，再經過光刻、解理等復雜工藝，這些材料最終變成了激
激光微納制造技術
微納制造技術是利用激光的高能量、高聚焦性和高定位精度，通過控制激光束的能量和位置，對材料進行加工、切割、成型等操作的技術。激光微納制造技術主要包括激
高質量激光光束光學系統中的空間濾波
不規則性。這一過程確保了更均勻的強度分布，減少了發散，增強了相干性，從而提高了光束質量。空間濾波在各種應用中是必不可少的，包括激光加工、全息技術、顯微鏡和通信領域，其中對光束特性的精確控制對于最佳性能
發表于 08-14 11:54
激光納米加工的突破性進展
技術帶來的挑戰，傳統上僅限于表面級納米制造。現有的方法要么無法穿透晶片表面而不造成改變，要么受限于硅激光光刻技術的微米級分辨率。 Richard Feynman有一句名言："底層大有可為(There’s plenty of room at the bottom)“，這一突
消息稱臺積電3nm/5nm將漲價，終端產品或受影響
據業內手機晶片領域的資深人士透露，臺積電計劃在明年1月1日起對旗下的先進工藝制程進行價格調整，特別是針對3nm和5nm工藝制程，而其他工藝制程的價格則保持不變。此次漲價的具體幅度為，3nm和5
中科院重慶研究院在勢壘可光調諧新型肖特基紅外探測器研究獲進展
傳統肖特基探測器和勢壘可光調諧的肖特基紅外探測器的對比 近日，中科院重慶綠色智能技術研究院微納制造與系統集成研究中心在《創新》(The Innovation)上發表了題為Schottky
工商網監
評論