《華林科納-半導體工藝》減薄硅片的蝕刻技術
摘要
高效指間背接觸太陽能電池有助于減少太陽能電池板的面積，需要提供足夠數量的能源供家庭消費。我們認為適當的采用光阱技術的IBC電池即使在厚度不足的情況下也能保持20%的效率。文章全部詳情：壹叁叁伍捌零陸肆叁叁叁本工作采用光刻和刻蝕技術對晶圓進行深度刻蝕，使晶圓厚度小于20μm。
關鍵詞:IBC太陽能電池，掩模蝕刻，光刻，反應離子蝕刻，TMAH蝕刻
介紹
太陽能顯示出供應潛力，這個因素取決于對高效率光伏器件和降低制造成本的需求。IA是光伏產業面臨的主要挑戰以與化石燃料競爭的成本生產足夠數量的能源。這個因素取決于對高效率光伏器件和降低制造成本的需求。據報道，太陽能電池的效率在規模上高于20%。商用太陽能電池使用晶體硅材料。這種類型的PV電池是指間背接觸太陽能電池。
實驗
審核編輯：符乾江
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